公开(公告)号：CN103901734B

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201210587444.0

申请日：2012-12-28

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 郭琳 ,  吴立伟 ,  陈军 ,  江旭初 ,  张志钢

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70716 ,  G03F7/709 ,  G03F7/70991 ,  H01L21/68764

Abstract: 本发明涉及一种工件台线缆装置，包括工件台、硅片台、线缆设备、线缆连接台以及X向运动设备和Y向运动设备，所述硅片台与线缆连接台分别安装于所述工件台的上侧和下侧，所述线缆设备的两端分别连接至所述硅片台和线缆连接台，所述X向运动设备连接至所述线缆连接台并沿X向运动，所述Y向运动设备连接至所述线缆连接台并沿Y向运动。本发明利用沿X向运动的X向运动设备和沿Y向运动的Y向运动设备带动所述线缆连接台跟随所述硅片台在X、Y向同步运动，使得线缆设备跟随所述硅片台运动，以减少线缆设备对所述硅片台运动产生的扰动，并减少线缆设备在硅片台运动中的弯折次数，增加线缆设备的使用寿命，同时，本发明结构简单。