-
公开(公告)号：CN107783379B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201610766759.X
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种垂向位置测量装置，沿光路方向依次包括：照明光源、投影狭缝、第一光学组件、探测狭缝、光电探测器和信号处理单元，其中，所述投影狭缝、所述探测狭缝和所述光电探测器的数量相等且位置对应，每个所述光电探测器在测量方向上的尺寸与每个所述探测狭缝的尺寸相等，所述光电探测器包括若干个探测单元，每个所述探测单元包括中心单元以及分设在所述中心单元两侧的第一边缘单元和第二边缘单元，所述中心单元的尺寸为所述探测狭缝所成的像的摆幅的两倍，所述探测单元的细化提高了所述垂向位置测量装置的测量准确性。
-
公开(公告)号：CN107664922B
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201610614644.9
申请日：2016-07-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明揭示了一种扫描反射镜振幅测量装置及测量方法。所述扫描反射镜振幅测量装置包括光源，输出光信号；光阑，调节所述光源输出光信号的光斑的大小以及形状；扫描反射镜设置结构，用于安置待测量的扫描反射镜，所述扫描反射镜安置后周期性反射所述光信号；光电传感器，包括3个以上的传感器单元，探测并采集经所述扫描反射镜反射后的光信号；信号采集及处理器，处理所述光电传感器采集到的信号，获得所述扫描反射镜的振幅。由此，能够在扫描反射镜应用前对扫描反射镜特性进行方便测量，识别扫描发射镜性能好坏。
-
公开(公告)号：CN107664922A
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201610614644.9
申请日：2016-07-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明揭示了一种扫描反射镜振幅测量装置及测量方法。所述扫描反射镜振幅测量装置包括光源，输出光信号；光阑，调节所述光源输出光信号的光斑的大小以及形状；扫描反射镜设置结构，用于安置待测量的扫描反射镜，所述扫描反射镜安置后周期性反射所述光信号；光电传感器，包括3个以上的传感器单元，探测并采集经所述扫描反射镜反射后的光信号；信号采集及处理器，处理所述光电传感器采集到的信号，获得所述扫描反射镜的振幅。由此，能够在扫描反射镜应用前对扫描反射镜特性进行方便测量，识别扫描发射镜性能好坏。
-
公开(公告)号：CN107783379A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201610766759.X
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种垂向位置测量装置，沿光路方向依次包括：照明光源、投影狭缝、第一光学组件、探测狭缝、光电探测器和信号处理单元，其中，所述投影狭缝、所述探测狭缝和所述光电探测器的数量相等且位置对应，每个所述光电探测器在测量方向上的尺寸与每个所述探测狭缝的尺寸相等，所述光电探测器包括若干个探测单元，每个所述探测单元包括中心单元以及分设在所述中心单元两侧的第一边缘单元和第二边缘单元，所述中心单元的尺寸为所述探测狭缝所成的像的摆幅的两倍，所述探测单元的细化提高了所述垂向位置测量装置的测量准确性。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.033 seconds)
