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发明公开
一种低内应力的硬质TiAlSiN复合涂层及制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN119351943A

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202411450336.8

申请日：2024-10-17

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 黄彪 , 张而耕 , 周琼 , 王雅琪 , 邢献浩 , 陈强 , 梁丹丹

IPC: C23C14/06 , C23C14/58 , C23C14/02 , C23C14/34

Abstract: 本发明涉及一种低内应力的硬质TiAlSiN复合涂层及制备方法，所述复合涂层包括依次沉积于基体表面的TiN打底层、AlTiN层和TiAlSiN层，沉积后初次冷却，再使用低能离子轰击涂层，末真空退火后二次冷却。与现有技术相比，本发明内应力较低、保持高硬度的同时还具有良好的韧性，具有优异的摩擦学性能。

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