公开(公告)号：CN118241161A

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202410349428.0

申请日：2024-03-26

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 梁丹丹 ,  李星 ,  张而耕 ,  王亚琨 ,  陈强 ,  周琼 ,  黄彪

IPC: C23C14/14 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明涉及一种锆‑钛‑银非晶/银纳米晶体多层薄膜及其制备方法，所述多层薄膜包括依次沉积于基体表面、具有周期性调制结构的锆‑钛‑银非晶薄膜和银纳米晶体薄膜，所述多层薄膜采用一个周期时的总厚度为70‑100nm，所述多层薄膜的周期数为5‑15。与现有技术相比，本发明维持高硬度的同时进一步降低了弹性模量。

公开(公告)号：CN117127149A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202311084952.1

申请日：2023-08-28

Applicant: 上海应用技术大学 ,  上海名古屋精密工具股份有限公司

Inventor： 张而耕 ,  王亚琨 ,  梁丹丹 ,  陈强 ,  周琼 ,  黄彪 ,  张帆 ,  孙思叡 ,  孙国庆

IPC: C23C14/16 ,  C23C14/18 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明涉及一种非晶合金薄膜及其制备方法与应用，薄膜为钛、银元素共掺杂的锆基非晶合金薄膜，制备薄膜所用的靶材为锆钛合金靶、单质银靶；薄膜通过磁控溅射的方法对Zr‑Ti合金靶、纯Ag单质靶进行直流共溅射获得。本发明的锆基非晶合金薄膜，由于其原子具备短程有序、长程无序的排列特点，而使其不具备晶界、位错、第二相等晶体缺陷。此外，相较于传统锆基非晶薄膜，本发明的锆基非晶合金薄膜不仅具有较好的韧性，而且表现出了高硬度、低弹性模量、良好的耐腐蚀性、生物相容性及抗菌性，具有较大的医学应用价值。