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发明公开
一种锆-钛-银非晶/银纳米晶体多层薄膜及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN118241161A

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202410349428.0

申请日：2024-03-26

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 梁丹丹 , 李星 , 张而耕 , 王亚琨 , 陈强 , 周琼 , 黄彪

IPC: C23C14/14 , C23C14/35

Abstract: 本发明涉及一种锆‑钛‑银非晶/银纳米晶体多层薄膜及其制备方法，所述多层薄膜包括依次沉积于基体表面、具有周期性调制结构的锆‑钛‑银非晶薄膜和银纳米晶体薄膜，所述多层薄膜采用一个周期时的总厚度为70‑100nm，所述多层薄膜的周期数为5‑15。与现有技术相比，本发明维持高硬度的同时进一步降低了弹性模量。

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