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公开(公告)号：CN117823727A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410015600.9
申请日：2024-01-04
摘要： 本申请公开了一种耐腐蚀蠕动泵管及用于化学气相沉积炉的蠕动泵，所述蠕动甭管，包括泵管本体，所述泵管本体为双层软管，所述双层软管的内层材质是弹性耐腐蚀树脂；所述蠕动泵管的泵管内层采用耐腐蚀材料，能够抵抗MTS等腐蚀性化学品的侵蚀，有效避免泵管的腐蚀泄漏，泵管外层则对泵管内层提供额外的机械强度和保护，不仅提高了泵管对MTS等腐蚀性化学品的耐腐蚀性，还能在泵管内层破裂时防止化学品泄漏到环境中，进一步降低化学品泄漏风险；本公开的蠕动泵采用了所述耐腐蚀泵管，有效解决由MTS腐蚀引起的安全、环保等问题，为CVD‑SiC制备提供可靠和环保的MTS输送方案。
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公开(公告)号：CN117947520A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410113065.0
申请日：2024-01-26
摘要： 本发明公开一种以粉末氧化镓为原料化学气相沉积制备块体氮化镓的方法，该方法使用通过施加应力而组合的氧化镓粉末，经过化学气相沉积制备氮化镓，并利用多层石英片作为衬底，制备易于剥离的氮化镓。本发明从镓源出发，从源头上降低GaN制备成本，同时提高了GaN生产效率。
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公开(公告)号：CN117890291A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410073283.6
申请日：2024-01-18
摘要： 本发明提供了一种硅蒸汽腐蚀测试用装置及测试方法，该测试装置包括容置具、凸台和导气网；容置具包括容置具本体和用于密封容置具本体的密封盖；凸台由所述容置具本体的内壁向中心方向凸出，且沿同一水平线至少凸出有两个；导气网置于容置具本体内，设置有若干个网孔，且放置在同一水平线的两个凸台的表面；导气网用于放置待测试的样品。本发明提供的测试装置，专用于利用硅蒸汽进行抗腐蚀性测试中，相比于常规悬垂法用容具，本发明对装置重新进行设计，同时提供了一种新的对应测试方法，有效解决了目前悬垂法无法保证测试条件的一致性，往往导致评价结果不准确的问题。
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公开(公告)号：CN118186365A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410292994.2
申请日：2024-03-14
申请人： 上海大学
IPC分类号： C23C16/34 , C23C16/44 , C23C16/56 , C23C16/448
摘要： 本公开涉及一种均质氮化硼薄膜及高效制备氮化硼薄膜的方法，包括：在反应炉的恒温区配置沉积腔室，所述沉积腔室小于反应炉内腔；所述沉积腔室管路连接气相前驱体氮源、气相前驱体硼源、载气源及稀释气源，在所述沉积腔室中，两种气相前驱体随流动的载气及稀释气在衬底表面进行氮化硼的化学气相沉积，得到初始氮化硼薄膜；所述化学气相沉积结束，利用惰性气体去除所述沉积腔室中残留的气相前驱体后，所述初始氮化硼薄膜继续随炉冷却，得到成品氮化硼薄膜；有效解决现有化学气相沉积法制备BN薄膜沉积效率低及薄膜的表面形貌不理想的问题。
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