公开(公告)号：CN119677184A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411891005.8

申请日：2024-12-20

Applicant: 上海大学

Inventor： 马逸明 ,  黄茜 ,  朱洪智 ,  韩潇潇 ,  王楠

IPC: H10F30/221 ,  H10F77/169 ,  H10F77/12 ,  H10F71/00

Abstract: 本发明公开了一种基于铁电体热释电效应的二维材料光电探测器，包括：铁电功能层；位于铁电功能层上方的双层电极；在双层电极上方且与铁电功能层接触的二维材料薄膜；所述铁电体自发极化方向与二维材料薄膜的厚度方向垂直；所述双层电极包括上层金属层和下层金属层，其中下层金属层与铁电功能层接触，用于增强上层金属层与铁电功能层之间的结合力；所述上层金属层承担导电功能；所述二维材料薄膜为所述探测器的感光区域，用于接收光源照射。

公开(公告)号：CN118969893A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411035665.6

申请日：2024-07-31

Applicant: 上海大学

Inventor： 马逸明 ,  朱洪智 ,  韩潇潇 ,  黄茜 ,  王楠

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0232 ,  G01J4/04

Abstract: 本发明公开了一种片上纳米天线增强二维材料中红外光电探测器，该探测器主要由衬底层、绝缘隔离层、金属层以及二维材料层组成。金属层包括金属电极以及纳米天线。纳米天线将自由空间光耦合到纳米级亚波长天线间隙中，天线间隙内的超高电场强度增强二维材料与光的相互作用；同时纳米天线可以作为电极高效地收集和输运光生载流子，可以有效提升器件的性能。本发明中设计的纳米天线对不同角度偏振光产生不同的谐振增强，可以有效提高器件的偏振比，提升器件的偏振探测能力。此外可以调整金属纳米天线结构的尺寸、形状等参数实现对不同波段的光探测。该发明可以实现高响应度、响应快速、偏振敏感的中红外光电探测。

公开(公告)号：CN118969872A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411028178.7

申请日：2024-07-30

Applicant: 上海大学

Inventor： 马逸明 ,  韩潇潇 ,  朱洪智 ,  黄茜 ,  王楠

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/101 ,  G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G01J3/42

Abstract: 本发明公开了一种双槽波导集成的双栅二维材料中红外光电探测器，包括：带亚波长光栅包层的介质槽波导和金属槽波导等离激元结构，二者间隙宽度相同。介质槽波导的两个介质条作为局部栅极。双槽结构将光强烈限制在空气槽中，增强光与物质的相互作用。双栅极的静电调控可对沟道两侧进行掺杂形成同质结，使在零偏压下，光热电/光伏效应占主导地位；外加偏压时，光电导/光辐射热效应占主导地位。本发明的优点：一是具有增强结构且保持低金属吸收损耗。二是亚波长光栅在二维材料转移工艺中提供机械支撑和横向光限制，增大栅控面积，并具有低传输损耗，不影响器件带宽。三是具有材料和响应机制的普适性，可利用于更广泛的混合二维材料/介质波导器件。