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公开(公告)号：CN102899624A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201210349412.7
申请日：2012-09-20
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种透明导电氧化物复合薄膜的制备方法，属于功能薄膜材料（光电子信息材料）技术领域。该透明导电氧化物复合膜在超白玻璃基材上底层生长透明和导电性能优越的金属氧化物层、表面层生长高温下性能稳定的金属氧化物层。两种金属氧化物层所采用的制备条件和方法均是在室温条件下采用射频磁控溅射的方法进行生长。本发明方法的优点是所制成的导电基板的复合透明导电膜具有高电导率、高光学透过率、厚度均匀性好、高热稳定性，高温下光电性能稳定，与玻璃基材结合牢固。
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