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公开(公告)号：CN220671579U
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202322147122.0
申请日：2023-08-09
Applicant: 上海复旦微电子集团股份有限公司
IPC: G01R31/28
Abstract: 一种引流装置及测试装置，所述引流装置包括：主体部，开设有第一进气孔；输气管，连通所述第一进气孔，所述输气管具有至少一个第一出气孔，所述至少一个第一出气孔均匀地围绕至少一个目标区域设置。本公开方案通过设计引流装置实现气流的均匀分流并降低气体传输过程中的损耗，使得加装引流装置的测试装置内的气流能够更有针对性地、几乎无损耗地吹向承载于各目标区域的待测芯片，以提高芯片测试效率和测试效果。
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