公开(公告)号：CN118543855A

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202410709035.6

申请日：2024-06-03

Applicant: 上海交通大学 ,  上海宇航系统工程研究所

Inventor： 胡永祥 ,  周榆 ,  罗国虎 ,  陈萌 ,  赵以时 ,  刘鲁江

IPC: B22F12/30 ,  B22F12/00 ,  B22F10/47 ,  B22F10/25 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00

Abstract: 本发明提供了一种基于脉冲激光辐照连续金属箔的微滴沉积打印系统及方法，包括：光束子系统、供箔子系统和运动平台。通过光束子系统将脉冲激光聚焦到供箔子系统的连续金属箔上，诱导连续金属箔熔化形成金属微滴喷射，同时控制运动平台位置控制微滴连续沉积，实现三维金属微结构打印；通过供箔子系统保证金属薄膜连续供应，同时控制运动平台的位置实现复杂三维金属微结构打印。本发明能够摆脱供体金属材料制备复杂、更换频繁和回收困难的问题，能有效提升打印效率和工艺环保性，同时降低制造成本。

公开(公告)号：CN117577546A

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202311535220.X

申请日：2023-11-16

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 胡永祥 ,  陆子杰 ,  罗国虎 ,  赵以时 ,  吴迪

IPC: H01L21/60 ,  B23K26/00

Abstract: 本发明提供了一种三维集成电路封装微凸点激光打印方法，包括：将已制备微焊盘的芯粒放置到供体膜下方的卡盘上，利用脉冲激光对准辐照供体膜，使供体膜局部熔化并形成金属微滴喷射，沉积到微焊盘表面上，冷却凝固形成金属微凸点阵列。本发明通过激光直写打印制备微凸点，无需掩膜，工艺流程简单，周期短；通过改变激光光斑尺寸和辐照供体膜位置制备不同尺寸和位置分布的微凸点阵列，工艺柔性高；通过更换供体膜材料，实现不同成分微凸点制备，材料适用范围广。