公开(公告)号：CN110306172A

公开(公告)日：2019-10-08

申请号：CN201910610693.9

申请日：2019-07-08

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 杭弢 ,  金泽滨 ,  李明 ,  胡安民 ,  凌惠琴

IPC: C23C18/12

Abstract: 本发明公开了一种在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法；该方法包括：化学浴沉积前驱液配制；氧化锌薄膜沉积；反应温度控制。该方法采用锌盐和六亚甲基四胺的混合溶液为化学浴沉积前驱液，在常压、恒温水浴条件下利用锌离子的水解反应在锌上沉积氧化锌薄膜，通过调节化学浴温度控制水解反应的速率，从而调控氧化锌的形貌。与现有技术相比，本发明具备步骤简单，成本较低，可调控氧化锌薄膜的形貌等优势。

公开(公告)号：CN110306172B

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN201910610693.9

申请日：2019-07-08

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 杭弢 ,  金泽滨 ,  李明 ,  胡安民 ,  凌惠琴

IPC: C23C18/12

Abstract: 本发明公开了一种在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法；该方法包括：化学浴沉积前驱液配制；氧化锌薄膜沉积；反应温度控制。该方法采用锌盐和六亚甲基四胺的混合溶液为化学浴沉积前驱液，在常压、恒温水浴条件下利用锌离子的水解反应在锌上沉积氧化锌薄膜，通过调节化学浴温度控制水解反应的速率，从而调控氧化锌的形貌。与现有技术相比，本发明具备步骤简单，成本较低，可调控氧化锌薄膜的形貌等优势。