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公开(公告)号：CN100541684C
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200510029318.3
申请日：2005-09-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微电子技术领域的基于微机电系统的射频螺线管微电感的制作方法，采用微机电系统技术，对清洗干净的玻璃衬底进行处理，得到双面套刻对准符号，以便曝光时提高对准精度；采用准-LIGA技术和厚光刻胶工艺制备线圈和连接导体的光刻胶模具；采用电镀工艺解决线圈绕线和连接导体；采用聚酰亚胺材料做绝缘层和抛光技术解决衬底的平整性；采用物理方法去除电镀用的导体，避免湿法刻蚀工艺带来的钻蚀现象。本发明解决了螺线管线圈的立体绕线及高深宽比的电镀问题，使得微电感的射频性能大大提高，具有广泛的用途。
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公开(公告)号：CN1767097A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510029316.4
申请日：2005-09-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微电子技术领域的空芯结构射频螺线管微电感的制作方法，采用微机电系统技术，对双面氧化的硅片进行处理，得到双面套刻对准符号，以便曝光时提高对准精度；采用准－LIGA技术和厚光刻胶工艺制备线圈和连接导体的光刻胶模具；采用电镀工艺和抛光技术解决线圈绕线和连接导体；采用物理刻蚀技术去除电镀用的导体，避免湿法刻蚀工艺带来的钻蚀现象。本发明解决了螺线管线圈的立体绕线及高深宽比的电镀问题，使得微电感的射频性能大大提高，具有广泛的用途。
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公开(公告)号：CN1767090A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510029315.X
申请日：2005-09-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微电子技术领域的空芯结构射频螺线管微电感，由衬底、引脚、螺线管线圈和平面波导线组成，螺线管线圈位于衬底上，其周围为平面波导线，螺线管线圈由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成，螺线管线圈的两端连接引脚，螺线管线圈的底层线圈、顶层线圈、连接导体均通过空气绝缘隔开。本发明解决了螺线管线圈的立体绕线及高深宽比的电镀问题，使得微电感的射频性能大大提高，具有广泛的用途。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1207737C
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN03129276.3
申请日：2003-06-12
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种悬空结构射频微电感及其制作工艺。属于微电子技术领域。包括：衬底、金属铜螺旋线圈、引线、支撑体、连接体、平面波导线，金属铜螺旋线圈与衬底之间设置有支撑体，支撑体一端与所述的金属铜螺旋线圈连接，支撑体的另一端与衬底连接，在金属铜螺旋线圈与引线连接处设置有连接体，连接体两端分别与金属铜螺旋线圈和引线相连接。工艺具体如下：(1)衬底基片清洗处理；(2)淀积Cr/Cu种子层；(3)甩胶；(4)曝光与显影；(5)电镀；(6)去胶及种子层；(7)甩胶；(8)曝光与显影；(9)电镀；(10)溅射铜种子层；(11)甩胶；(12)曝光与显影；(13)电镀；(14)去胶。本发明使微电感损耗大大降低，性能远远高于相同参数的平面微电感。
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公开(公告)号：CN1477655A
公开(公告)日：2004-02-25
申请号：CN03129276.3
申请日：2003-06-12
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种悬空结构射频微电感及其制作工艺。属于微电子技术领域。包括：衬底、金属螺旋线圈、引线、支撑体、连接体、平面波导线，金属螺旋线圈与衬底之间设置有支撑体，支撑体一端与所述的金属螺旋线圈连接，支撑体的另一端与衬底连接，在金属螺旋线圈与引线连接处设置有连接体，连接体两端分别与金属螺旋线圈和引线相连接。工艺具体如下：(1)衬底基片清洗处理；(2)淀积Cr/Cu种子层；(3)甩胶；(4)曝光与显影；(5)电镀；(6)去胶及种子层；(7)甩胶；(8)曝光与显影；(9)电镀；(10)溅射铜种子层；(11)甩胶；(12)曝光与显影；(13)电镀；(14)去胶。本发明使微电感损耗大大降低，性能远远高于相同参数的平面微电感。
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公开(公告)号：CN100536045C
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200510029316.4
申请日：2005-09-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微电子技术领域的空芯结构射频螺线管微电感的制作方法，采用微机电系统技术，对双面氧化的硅片进行处理，得到双面套刻对准符号，以便曝光时提高对准精度；采用准-LIGA技术和厚光刻胶工艺制备线圈和连接导体的光刻胶模具；采用电镀工艺和抛光技术解决线圈绕线和连接导体；采用物理刻蚀技术去除电镀用的导体，避免湿法刻蚀工艺带来的钻蚀现象。本发明解决了螺线管线圈的立体绕线及高深宽比的电镀问题，使得微电感的射频性能大大提高，具有广泛的用途。
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公开(公告)号：CN1767091A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510029317.9
申请日：2005-09-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微电子技术领域的基于微机电系统的射频螺线管微电感，包括：玻璃衬底、引脚、线圈、平面波导线、绝缘材料，绝缘材料、平面波导线和引脚设置在玻璃衬底上，在引脚之间设置线圈，引脚分别与线圈的两个端点相连接，在玻璃衬底的平面上设置底层线圈、平面波导线，线圈由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成，底层线圈和顶层线圈之间、线圈与平面波导线及引脚之间由绝缘材料隔开。本发明解决了螺线管线圈的立体绕线及高深宽比的电镀问题，使得微电感的射频性能大大提高，具有广泛的用途。
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公开(公告)号：CN1767098A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510029318.3
申请日：2005-09-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微电子技术领域的基于微机电系统的射频螺线管微电感的制作方法，采用微机电系统技术，对清洗干净的玻璃衬底进行处理，得到双面套刻对准符号，以便曝光时提高对准精度；采用准－LIGA技术和厚光刻胶工艺制备线圈和连接导体的光刻胶模具；采用电镀工艺解决线圈绕线和连接导体；采用聚酰亚胺材料做绝缘层和抛光技术解决衬底的平整性；采用物理方法去除电镀用的导体，避免湿法刻蚀工艺带来的钻蚀现象。本发明解决了螺线管线圈的立体绕线及高深宽比的电镀问题，使得微电感的射频性能大大提高，具有广泛的用途。
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