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公开(公告)号:CN100512575C
公开(公告)日:2009-07-08
申请号:CN200710047692.5
申请日:2007-11-01
Applicant: 上海交通大学
CPC classification number: Y02P10/256 , Y02P10/259
Abstract: 一种时域和空域可控的电子束加热控制方法,属于材料加工领域。本发明电子束三维扫描轨迹采用X、Y、Z位移分量来描述,电子束从扫描轨迹的起始点运动到终点构成一个扫描周期,利用一个扫描周期的X、Y、Z位移分量,通过编程生成三路驱动信号,以指定的刷新率不断地输出给由X、Y两对绕组构成的附加偏转线圈以及由构成电子束Z向运动的聚焦线圈,其中在附加偏转线圈中产生的磁场使电子束在X-Y平面内产生二维偏转,在聚焦线圈中产生的磁场使电子束在Z方向上产生升降运动,周期性地在三维空间内按设定的轨迹和方式运动。本发明可控制电子束二维或三维扫描轨迹和产生任意的二维或三维扫描轨迹,而且电子束三维扫描方式也可任意设定。
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公开(公告)号:CN101146383A
公开(公告)日:2008-03-19
申请号:CN200710047692.5
申请日:2007-11-01
Applicant: 上海交通大学
CPC classification number: Y02P10/256 , Y02P10/259
Abstract: 一种时域和空域可控的电子束加热控制方法,属于材料加工领域。本发明电子束三维扫描轨迹采用X、Y、Z位移分量来描述,电子束从扫描轨迹的起始点运动到终点构成一个扫描周期,利用一个扫描周期的X、Y、Z位移分量,通过编程生成三路驱动信号,以指定的刷新率不断地输出给由X、Y两对绕组构成的附加偏转线圈以及由构成电子束Z向运动的聚焦线圈,其中在附加偏转线圈中产生的磁场使电子束在X-Y平面内产生二维偏转,在聚焦线圈中产生的磁场使电子束在Z方向上产生升降运动,周期性地在三维空间内按设定的轨迹和方式运动。本发明可控制电子束二维或三维扫描轨迹和产生任意的二维或三维扫描轨迹,而且电子束三维扫描方式也可任意设定。
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