用于MEMS激光雷达的光学收发系统及雷达

    公开(公告)号:CN119001676A

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202411137119.3

    申请日:2024-08-19

    Abstract: 本发明提供了一种用于MEMS激光雷达的光学收发系统及雷达,光学收发系统包括光学发射系统和接收系统;光学发射系统包括依次设置的边发射激光光源组件、菲涅耳型柱面准直透镜组、新型MEMS振镜扫描组件;光学接收系统包括弯月型接收透镜组、雪崩光电二极管组件。本发明采用了特殊的准直匀化方案和无串扰、双轴独立驱动的新型MEMS振镜,同时提高了测量距离、扫描精度和点云密度;并且采用了弯月透镜用于聚焦小光斑,增加了一块非球面透镜,在增大视场角的同时显著减小球面像差,提高成像质量,实现了±20°的光学视场角。本发明有效解决了大光斑和机械串扰导致扫描精度差的问题,同时设计了光学接收系统,可以在不降低成像质量的条件下显著增大接收视场角。

    基于脉冲激光干涉的超宽频振动测量系统及其操作方法

    公开(公告)号:CN117109718A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202311007838.9

    申请日:2023-08-10

    Abstract: 本发明提供了一种基于脉冲激光干涉的超宽频振动测量系统及其操作方法,涉及精密测量技术中的激光相干探测技术领域,包括:超快脉冲激光光源组件、迈克尔逊干涉光路、信号处理电路以及计算机控制系统;其中,所述超快脉冲激光一路在迈克尔逊干涉仪中发生干涉后,输入锁相放大器信号端口,另一路经信号处理电路混频、滤波、放大后,通过选择开关判断输入锁相放大器参考端口,计算机控制系统负责纳米位移台、信号源以及锁相放大器的统一控制和数据读取。本发明能够解决易造成微纳器件表面损坏、振动测量带宽窄、测量噪声高的问题。

    光学矢量网络分析仪及超高频测量方法

    公开(公告)号:CN116973076A

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN202310987925.9

    申请日:2023-08-07

    Abstract: 本发明提供一种光学矢量网络分析仪及超高频测量方法,包括:光学收发系统、激励和干涉系统以及计算机控制与信号处理系统;光学收发系统接收和发射经调制后的脉冲/连续波激光信号;激励和干涉系统通过二向色镜将激励光与探测光合束并作用于待测微纳结构同一点;计算机控制与信号处理系统调控超快脉冲激光器及连续波激光器,并对光电探测器所获得信号进行处理,得到散射参数的幅度、相位频率特性。本发明应用于无电极超高频微纳结构的测量,解决了无电极微纳器件无法测量的困难,实现了无电极微纳结构在超高频域下散射参数的幅度、相位的扫频测量,同时利用可调谐的超短脉冲激光,具有非接触、干扰小、耗能低的特点。

    基于连续波激光的脉冲激光干涉等效波长校准装置及方法

    公开(公告)号:CN115127662A

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN202210824397.0

    申请日:2022-07-14

    Abstract: 一种基于连续波激光的脉冲激光干涉等效波长校准装置及方法,包括:依次设置的超快脉冲激光光源组件、干涉光路组件和信号接收与处理组件,其中:信号接收与处理组件与干涉光路组件相连以调整光路并采集干涉信号,当超快脉冲激光发生干涉时计算得到等效波长。本发明利用连续波激光具有频谱窄、能量集中、频率稳定的特性,对超快脉冲激光的等效波长进行校准,提高超快脉冲激光干涉仪的测量准确性。

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