-
公开(公告)号：CN101916097A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010242099.8
申请日：2010-07-30
Applicant: 上海交通大学
IPC: G05B19/418 , H01L21/00
CPC classification number: Y02P90/02
Abstract: 一种半导体制造系统技术领域的时空耦合动态特性分析系统，包括：GUI模块、信息预处理模块和时空耦合动态特性稳定阈值分析模块，本发明具有能够对半导体制造系统的时空耦合动态特性稳定阈值进行定量检测分析的功能，从而为半导体制造系统的控制提供决策依据，提高半导体制造系统的控制优化能力。
-
公开(公告)号：CN101464668A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200910045021.4
申请日：2009-01-08
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种半导体制造技术领域的面向电子装配生产的RFID信息处理系统，其中：GUI模块实现与用户的信息交互，将硬件配置参数、信息输出参数及数据处理参数分别输出给数据采集模块、处理结果发布模块和数据处理模块；数据采集模块接收硬件配置参数的信息，转换成机器语言实现对RFID设备的配置信息，并生成标签数据列表发送给数据处理模块；处理结果发布模块负责信息处理系统与企业其他信息系统的交互；数据处理模块负责数据的过滤，解析和筛选，生成筛选列表经过处理结果发布模块发布。本发明将RFID应用于电子装配生产物料数据采集与处理，提高了电子装配生产数据采集的自动化水平、数据采集效率、数据处理效率与准确度。
-
公开(公告)号：CN101404072A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810202312.5
申请日：2008-11-06
Applicant: 上海交通大学
IPC: G06N3/08 , G06Q10/00 , G05B19/418
Abstract: 一种半导体制造领域的半导体制造系统的日产出量预测系统，本发明中，GUI模块负责与用户和其他模块进行交互；日产出量时间序列的相空间重构模块获得日产出量时间序列，对日产出量时间序列进行预处理后，将经过重构处理的日产出量时间序列输出给GUI模块和神经网络模块；神经网络模块进行日产出量时间序列的预测处理，并将预测处理结果输出到神经网络的参数训练处理模块和GUI模块；神经网络参数的训练处理模块对神经网络模块中的隐含层和输出层权值参数进行训练处理。本发明提高了半导体生产线的日产出量预测的准确性和精度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101424919A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200810203013.3
申请日：2008-11-20
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种半导体制造领域的半导体制造系统的重调度决策系统，本发明中，GUI模块负责与用户和其他模块进行交互；模糊神经网络决策模块获得半导体制造系统的生产状态和干扰信息数据，进行半导体制造系统的重调度决策处理，并将重调度决策处理的信息结果输出到模糊神经网络参数训练模块和GUI模块。模糊神经网络参数训练模块对模糊神经网络决策模块的模糊化层的中心值、宽度值参数和输出层的连接权值参数进行训练处理，本发明提高了半导体制造系统的重调度决策的准确性。
-
公开(公告)号：CN101916097B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010242099.8
申请日：2010-07-30
Applicant: 上海交通大学
IPC: G05B19/418 , H01L21/00
CPC classification number: Y02P90/02
Abstract: 一种半导体制造系统技术领域的时空耦合动态特性分析系统，包括：GUI模块、信息预处理模块和时空耦合动态特性稳定阈值分析模块，本发明具有能够对半导体制造系统的时空耦合动态特性稳定阈值进行定量检测分析的功能，从而为半导体制造系统的控制提供决策依据，提高半导体制造系统的控制优化能力。
-
公开(公告)号：CN101404072B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200810202312.5
申请日：2008-11-06
Applicant: 上海交通大学
IPC: G06N3/08 , G06Q10/00 , G05B19/418
Abstract: 一种半导体制造领域的半导体制造系统的日产出量预测系统，本发明中，GUI模块负责与用户和其他模块进行交互；日产出量时间序列的相空间重构模块获得日产出量时间序列，对日产出量时间序列进行预处理后，将经过重构处理的日产出量时间序列输出给GUI模块和神经网络模块；神经网络模块进行日产出量时间序列的预测处理，并将预测处理结果输出到神经网络的参数训练处理模块和GUI模块；神经网络参数的训练处理模块对神经网络模块中的隐含层和输出层权值参数进行训练处理。本发明提高了半导体生产线的日产出量预测的准确性和精度。
-
公开(公告)号：CN101464668B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200910045021.4
申请日：2009-01-08
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种半导体制造技术领域的面向电子装配生产的RFID信息处理系统，其中：GUI模块实现与用户的信息交互，将硬件配置参数、信息输出参数及数据处理参数分别输出给数据采集模块、处理结果发布模块和数据处理模块；数据采集模块接收硬件配置参数的信息，转换成机器语言实现对RFID设备的配置信息，并生成标签数据列表发送给数据处理模块；处理结果发布模块负责信息处理系统与企业其他信息系统的交互；数据处理模块负责数据的过滤，解析和筛选，生成筛选列表经过处理结果发布模块发布。本发明将RFID应用于电子装配生产物料数据采集与处理，提高了电子装配生产数据采集的自动化水平、数据采集效率、数据处理效率与准确度。
-
公开(公告)号：CN100595700C
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200810203013.3
申请日：2008-11-20
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种半导体制造领域的半导体制造系统的重调度决策系统，本发明中，GUI模块负责与用户和其他模块进行交互；模糊神经网络决策模块获得半导体制造系统的生产状态和干扰信息数据，进行半导体制造系统的重调度决策处理，并将重调度决策处理的信息结果输出到模糊神经网络参数训练模块和GUI模块。模糊神经网络参数训练模块对模糊神经网络决策模块的模糊化层的中心值、宽度值参数和输出层的连接权值参数进行训练处理，本发明提高了半导体制造系统的重调度决策的准确性。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.024 seconds)
