柔性自供能传感器、制备方法及系统

    公开(公告)号:CN115915892A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211607564.2

    申请日:2022-12-14

    Abstract: 本发明提供了一种柔性自供能传感器、制备方法及系统,此微型自供能传感器芯片以柔性薄膜材料为基底,在柔性基底S上:设置于柔性基底S上的柔性热阻层B;设置于柔性热阻层B之上的P型半导体材料P和N型半导体材料N,P型半导体材料和N型半导体材料通过电化学方法沉积制备而成,柔性热阻层B覆盖部分柔性基底S的区域,形成冷端区域SC;未被柔性热阻层B覆盖的柔性基底S的区域形成热端区域SH,P型半导体材料P与N型半导体材料N相间排列并首尾相连,在连接处形成节点C:处于热端区域SH处的节点称为热节点C1,处于冷端区域Sc处的节点称为冷节点C2,热节点C1与冷节点C2相互串联并交错间隔排列,形成热电堆。

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