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公开(公告)号:CN118404202A
公开(公告)日:2024-07-30
申请号:CN202410568829.5
申请日:2024-05-09
申请人: 上海交通大学 , 安徽聚芯智造科技股份有限公司
IPC分类号: B23K26/352 , B23K26/60 , B23K26/70
摘要: 本发明提供了一种金刚石涂层密封环的激光辅助机械抛光方法及系统,方法包括步骤S1:对密封环基体进行预处理;步骤S2:采用热丝化学气相沉积法对预处理完毕的密封环基体进行金刚石涂层沉积;所述热丝化学气相沉积法包括形核阶段和生长阶段;步骤S3:使用预设的参数对沉积得到的金刚石涂层进行激光抛光处理;步骤S4:基于机械抛光方法对金刚石涂层作进一步处理,得到抛光完成的金刚石涂层密封环。本发明可以提高金刚石涂层密封环的表面光洁度和平整度,有助于金刚石涂层密封环在高参数工况下的实际应用;借助激光抛光的优势,解决了传统金刚石涂层密封环机械抛光的低效率和易损伤的问题。
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公开(公告)号:CN113151802B
公开(公告)日:2022-10-28
申请号:CN202110355590.X
申请日:2021-04-01
申请人: 上海交通大学
IPC分类号: C23C16/27
摘要: 本发明公开了一种用于不穿丝的小孔径金刚石涂层拉丝模的夹具、小孔径金刚石涂层制备方法及金属线材。其中,所述夹具沿夹具的高度方向由上至下依次包括第一基体以及第二基体。本案基于热丝化学气相沉积法,通过特制的铜夹具和“双层正交”的热丝排布方法,在无热丝穿孔的前提下,实现在小孔径硬质合金拉丝模内孔表面,尤其在定径区和压缩区沉积厚度和质量均匀、耐磨损性能优异的单层微米(纳米)、微米/纳米双层复合或微米/纳米多层复合金刚石涂层,大幅度提高硬质合金拉丝模的使用寿命和可靠性,突破了传统的热丝穿孔工艺难以应用于制备小孔径金刚石涂层拉丝模的瓶颈,既保证内孔表面金刚石涂层的均匀性,同时提高金刚石涂层生长效率。
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公开(公告)号:CN111910168A
公开(公告)日:2020-11-10
申请号:CN202010566135.X
申请日:2020-06-19
申请人: 上海交通大学
摘要: 本发明提供了一种CVD金刚石厚膜-陶瓷复合片钎焊刀具及其制备方法,步骤如下:S1、将氮化硅陶瓷基体表面喷砂粗化后超声波植晶,得到预处理过的氮化硅陶瓷基体;S2、采用微波化学气相沉积法沉积金刚石厚膜得到CVD金刚石厚膜-陶瓷复合片;S3、将复合片上的CVD金刚石厚膜进行机械抛光;S4、将机械抛光后的复合片激光切割成所需形状;S5、将激光切割后的复合片,真空钎焊至硬质合金刀体上,然后通过刃磨制成CVD金刚石厚膜-陶瓷复合片钎焊刀具。本方法有效简化CVD金刚石厚膜钎焊刀具的制备工序,降低成本,同时优化金刚石厚膜的晶粒尺度,抑制膜基界面的孔洞产生,陶瓷基底作为支撑可保证金刚石厚膜在抛光过程中不易断裂。
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公开(公告)号:CN103938182B
公开(公告)日:2016-05-04
申请号:CN201410138529.X
申请日:2014-04-08
申请人: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司 , 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
IPC分类号: C23C16/30
摘要: 本发明公开了一种硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法;以热丝CVD装置为沉积设备,在传统的氢气与丙酮反应体系中加中含硼及含氮化合物,形成共掺杂体系,调节反应工艺参数,制备出纳米金刚石颗粒与定向金刚石颗粒共存的薄膜。该方法工艺流程简单,获得的薄膜具有比随机取向微米级金刚石薄膜平整的表面,耐磨损性高且均一,易抛光、内应力低以及膜基附着力高等特点。
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公开(公告)号:CN103331318B
公开(公告)日:2015-04-01
申请号:CN201310228889.4
申请日:2013-06-08
申请人: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司 , 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
摘要: 本发明公开了一种基于水润滑拉拔的多道次金属拉拔装置,包括支架、固定在支架内部的拉拔腔、设置于拉拔腔内的密封圈、模具组和润滑室组、以及固定在支架上的盖板;模具组为超光滑纳米金刚石复合涂层模具;拉拔腔润滑剂入口与支架润滑剂入口的中心线对齐;密封圈、润滑室组和模具组沿着管线材拉拔方向依次放置在拉拔腔内,润滑室开口方向与拉拔腔润滑剂出入口对齐。本发明能够使管线材与模具组接触区在拉拔过程中完全浸入在润滑剂中,使金刚石薄膜优异的水润滑性能得到发挥,拉拔区域得到有效的润滑和冷却,从而延长模具使用寿命,提高加工表面质量以及表面光洁度、清洁度;同时水基润滑剂安全、无污染的特点也使得加工环境得到极大改善。
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公开(公告)号:CN102061453B
公开(公告)日:2012-11-21
申请号:CN201110028846.2
申请日:2011-01-27
申请人: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
IPC分类号: C23C16/27 , C23C16/44 , C23C16/458
摘要: 一种机械加工技术领域的金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法,通过将预处理后的复杂形状硬质合金刀具的刀柄插入刀具冷却底座,将安装好刀具的三明治式底座放在热丝CVD设备水冷工作台上;采用上下两行热丝且上行热丝高度与所述硬质合金刀具的刀尖相同,下行热丝的高度正对刀具的刀刃底部,通入氢气和丙酮并在复杂形状硬质合金刀具表面沉积金刚石涂层。本发明能够有效降低刀刃处衬底表面温度,但不降低沉积速率,同时又能提高金刚石涂层质量。
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公开(公告)号:CN102650053A
公开(公告)日:2012-08-29
申请号:CN201210124337.4
申请日:2012-04-25
申请人: 上海交通大学 , 上海澳尼森特种表面处理技术有限公司
摘要: 本发明公开了一种复杂形状CVD金刚石/类金刚石复合涂层刀具的制备方法。采用热丝CVD法在刀具表面沉积一层MCD薄膜,在沉积过程中采用负偏压产生离子轰击保证MCD薄膜具有光滑表面;随后继续沉积一层DLC薄膜,在初始阶段,用正负脉冲离子电源对涂覆了MCD薄膜的刀具表面进行离子轰击,以清除刀具表面的杂质,并去除涂层表面尖锐的晶粒棱角,增加涂层平整度,提高涂层表面活性,达到增强层间附着强度的效果。采用本发明的制备方法能够在具有复杂形状表面的整体式硬质合金刀具表面沉积获得具有优异膜-基附着强度、表面耐磨减摩及自润滑特性的CVD金刚石/类金刚石复合涂层,该复合涂层还具有内应力低、表面光滑平整、厚度均匀等特点。
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公开(公告)号:CN101736323B
公开(公告)日:2012-01-04
申请号:CN200910311897.9
申请日:2009-12-21
申请人: 上海交通大学
摘要: 一种刀具制造技术领域的刀具表面掺硼金刚石复合涂层制备装置,包括:反应罩、合金钻头、支撑台及冷却装置、直流偏压电源、热丝电源、气压控制装置、耐高温弹簧、热丝和钻头支架,其中:合金钻头和耐高温弹簧分别竖直设置于钻头支架上,热丝的两端分别与耐高温弹簧相连接,钻头支架固定设置于支撑台及冷却装置上,反应装置固定设置于支撑台及冷却装置以及钻头支架的外部并与气压控制装置相连接,直流偏压电源分别于热丝及反应罩外壳相连,热丝电源的分别与热丝及耐高温弹簧相连。能够保证金刚石复合薄膜与基体之间具有良好的附着强度,并且能够有效改善金刚石薄膜的表面质量和均匀性,从而提高金刚石薄膜涂层刀具的使用寿命和切削性能。
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公开(公告)号:CN1239739C
公开(公告)日:2006-02-01
申请号:CN200310108305.6
申请日:2003-10-30
申请人: 上海交通大学
IPC分类号: C23C16/27
摘要: 内表面低粗糙度金刚石复合涂层细长管制备方法。该方法采用电子增强热丝化学气相沉积(CVD)法对钨棒料基体进行金刚石复合涂层制备,通过腐蚀去除钨棒料基体获得自支撑金刚石细管,并采用比自支撑金刚石细管略大的钢管或铝管作为细长管的外壳,套在自支撑金刚石细管外,在自支撑金刚石细管与外壳之间由改性的环氧树脂粘结剂填充,由此形成内表面由低粗糙度金刚石复合涂层组成的细长管。该方法不仅能在细长管内表面获得高附着强度的耐磨金刚石涂层,而且通过工艺控制能有效地降低细长管内表面粗糙度,从而极大地改善其摩擦性能,提高细长管工作寿命、生产效率和加工质量。本方法操作简单、应用方便,产业化前景光明,因而具有显著的经济效益。
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公开(公告)号:CN1540310A
公开(公告)日:2004-10-27
申请号:CN200310108308.X
申请日:2003-10-30
申请人: 上海交通大学
摘要: 内涨鼓泡法检测金刚石涂层附着强度的测量装置主要包括测量基座,He-Ne激光干涉测量系统,压力给进系统,压力测量系统。测量基座是四孔底部相连、边长为7cm的立方体有机玻璃块平台,四孔出口分别与样品支架、压力测量系统、压力给进系统和卸荷阀相连接。采用无变形钢螺栓制作样品支架,采用“嵌入式”连接压力测量系统,采用OFV-3000光纤激光振动仪作为He-Ne激光干涉测量系统,采用注射泵作为压力给进系统加压机构,采用卸荷阀对系统压力进行调整。该测量装置不仅能精确定量测定金刚石涂层的附着强度,而且测量范围不受基体形状及附着强度大小的限制,可方便地用于复杂形状基体金刚石涂层的附着强度测量,因而具有显著的经济效益。
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