-
公开(公告)号：CN102586762B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201210085095.2
申请日：2012-03-27
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/46 , C23C16/30
Abstract: 本发明公开了一种多元掺杂热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法及用于其中的反应气体输送装置。所述方法以硅、碳化硅或氮化硅陶瓷、硬质合金、以及高熔点金属材料(钨、钽、钼、钛等)为衬底，以CVD法为沉积手段，在反应气体氢气和丙酮(或丙酮和甲醇)蒸汽中同时添加含Si、含Si和含N、含Si和含B或含Si、含N和含B的有机化合物，形成多元掺杂体系；反应得到了亚微米或纳米级金刚石薄膜涂层，涂层厚度可在10～50μm之间调节。该薄膜具有耐磨、耐腐蚀、绝缘电阻高(不掺硼场合)、表面光滑、摩擦系数小、易研磨抛光等特点，即兼有微米金刚石和纳米金刚石涂层的双重优点。
-
公开(公告)号：CN101318839B
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200810040138.9
申请日：2008-07-03
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
Abstract: 本发明涉及一种镀覆技术领域的碳化硅陶瓷和金刚石复合拉拔模具制备方法，以碳化硅陶瓷为衬底，进行多次常规金刚石涂层沉积→等离子体抛光→纳米金刚石涂层沉积→机械抛光，使陶瓷模具原先内孔表面缺陷砂眼消失，在CVD金刚石沉积-抛光循环过程，采用常规金刚石涂层与纳米金刚石涂层相结合，等离子体抛光与机械抛光相结合，在沉积常规涂层与纳米涂层之间插入等离子体抛光，使生长纳米涂层后更适应机械抛光。本发明制备的模具可替代传统硬质合金产品，不仅能大幅度延长传统模具和器件的使用寿命，提高生产效率，显著改善相关产品的质量，有效节约原材料，且对于大幅度减少钨、钴资源的消耗，有效解决硬质合金行业面临资源危机意义重大。
-
公开(公告)号：CN102061453A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201110028846.2
申请日：2011-01-27
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
IPC: C23C16/27 , C23C16/44 , C23C16/458
Abstract: 一种机械加工技术领域的金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法，通过将预处理后的复杂形状硬质合金刀具的刀柄插入刀具冷却底座，将安装好刀具的三明治式底座放在热丝CVD设备水冷工作台上；采用上下两行热丝且上行热丝高度与所述硬质合金刀具的刀尖相同，下行热丝的高度正对刀具的刀刃底部，通入氢气和丙酮并在复杂形状硬质合金刀具表面沉积金刚石涂层。本发明能够有效降低刀刃处衬底表面温度，但不降低沉积速率，同时又能提高金刚石涂层质量。
-
公开(公告)号：CN103757601A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410005575.2
申请日：2014-01-06
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司 , 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
IPC: C23C16/27 , C23C16/448
Abstract: 本发明公开了一种金刚石涂层高温高压喷雾喷嘴的制备方法；所述方法包括：采用经过预处理的硬质合金或SiC/Si3N4陶瓷喷嘴作为涂层衬底材料，通过双衬底直拉穿孔热丝排布法在喷嘴内孔表面沉积金刚石涂层，再通过平行热丝排布法在喷嘴入口锥面沉积金刚石涂层。本发明采用热丝化学气相沉积法通过“两步布丝沉积”的技术方案实现在高温高压喷雾干燥喷嘴整个工作表面沉积厚度和质量均匀、具有优异冲蚀磨损性能的金刚石涂层，大幅度提高原有喷嘴的使用寿命，对保证喷雾装备的安全运行、提高产品的质量意义重大。
-
公开(公告)号：CN103757600A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410005272.0
申请日：2014-01-06
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司 , 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
IPC: C23C16/27
Abstract: 本发明公开了一种化学气相沉积制备硅掺杂微纳复合金刚石薄膜的方法；首先采用含硅有机化合物作为硅掺杂源，采用热丝化学气相沉积法在衬底表面制备硅掺杂金刚石薄膜，然后原位沉积不掺杂微米金刚石薄膜，以制备硅掺杂复合金刚石薄膜。与现有技术相比，本发明可以更加精确地控制碳源或硅掺杂源和碳源混合溶液的流量并实现定量掺杂，硅掺杂复合金刚石薄膜既具有优异的附着性能，又具有极高的表面硬度和耐磨损性能，适用于对金刚石薄膜的附着性能和耐磨损性能综合要求很高的各类应用场合。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102140627B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201110028847.7
申请日：2011-01-27
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
Abstract: 一种金刚石涂层技术领域的特大孔径内孔金刚石平坦化涂层的制备方法，采用热丝化学气相沉积法在拉拔模的內孔表面依次进行直流正向偏流沉积、直流反向偏流沉积、直流还原沉积和优化沉积处理，得到特大孔径内孔金刚石平坦化涂层。本发明用三相整流的直流电源来替代单相交流电源，从而解決了大功率供电的三相平衡问题，同时既能保证金刚石涂层的质量，又能提高涂层的表面平整度，减少涂层抛光工作量，提高涂层模具的合格率和可靠性。
-
公开(公告)号：CN101476113B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200910045950.5
申请日：2009-01-22
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
IPC: C23C16/22
Abstract: 本发明涉及一种薄膜技术领域的化学气相沉积制备掺硼导电金刚石薄膜方法，将硼酸三甲酯按预定的B/C比溶解于丙酮，并放置于始终保持0℃的鼓泡瓶中，以控制碳源和硼源的流量。部分氢气流量作为载气，用鼓泡法将液体蒸气带出。本发明不会发生硼酸三甲酯掺硼分解出硼酸，对流量计、针形阀和管道的堵塞，制成的薄膜电阻率低(10-3Ω.·cm)，金刚石成份占绝对优势，质量好。掺硼制备过程安全无毒，没有硼源对大气等污染问题。
-
公开(公告)号：CN101476113A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200910045950.5
申请日：2009-01-22
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
IPC: C23C16/22
Abstract: 本发明涉及一种薄膜技术领域的化学气相沉积制备掺硼导电金刚石薄膜方法，将硼酸三甲酯按预定的B/C比溶解于丙酮，并放置于始终保持0℃的鼓泡瓶中，以控制碳源和硼源的流量。部分氢气流量作为载气，用鼓泡法将液体蒸气带出。本发明不会发生硼酸三甲酯掺硼分解出硼酸，对流量计、针形阀和管道的堵塞，制成的薄膜电阻率低(10－3Ω.·cm)，金刚石成份占绝对优势，质量好。掺硼制备过程安全无毒，没有硼源对大气等污染问题。
-
公开(公告)号：CN103757601B
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201410005575.2
申请日：2014-01-06
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司 , 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
IPC: C23C16/27 , C23C16/448
Abstract: 本发明公开了一种金刚石涂层高温高压喷雾喷嘴的制备方法；所述方法包括：采用经过预处理的硬质合金或SiC/Si3N4陶瓷喷嘴作为涂层衬底材料，通过双衬底直拉穿孔热丝排布法在喷嘴内孔表面沉积金刚石涂层，再通过平行热丝排布法在喷嘴入口锥面沉积金刚石涂层。本发明采用热丝化学气相沉积法通过“两步布丝沉积”的技术方案实现在高温高压喷雾干燥喷嘴整个工作表面沉积厚度和质量均匀、具有优异冲蚀磨损性能的金刚石涂层，大幅度提高原有喷嘴的使用寿命，对保证喷雾装备的安全运行、提高产品的质量意义重大。
-
公开(公告)号：CN104164702A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201410390604.1
申请日：2014-08-08
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司 , 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
Abstract: 本发明公开一种硼掺杂超/精细金刚石单晶微粉的制备方法，步骤为：对硅基衬底进行预处理以作为单晶微粉生长的衬底材料；应用热丝化学气相沉积法对硅基衬底进行沉积以获得均匀分散的硼掺杂金刚石单晶颗粒，反应气体为氢气与丙酮，在氢气与丙酮反应体系中加入含硼化合物，反应气压为2～4.5kPa、硅基衬底温度700～950℃；依次采用基体去除工艺、混合酸溶液去除工艺、及颗粒蒸馏工艺处理硼掺杂金刚石单晶颗粒，以获得硼掺杂超/精细金刚石单晶微粉。本发明的超/精细金刚石微粉中具有六-八面体或二十面体聚形晶体形态的比例较高，不但可显著提高超/精细金刚石单晶颗粒的生长速率，还可改善颗粒的晶形及表明质量。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
59
records
(took 0.079 seconds)
