微型化磁芯螺线管微电感器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN1216386C

    公开(公告)日:2005-08-24

    申请号:CN200410017852.8

    申请日:2004-04-22

    Abstract: 本发明提供一种微型化磁芯螺线管微电感器件及其制备方法,微电感器件主要由衬底,引脚,线圈、磁芯组成,环形闭合的磁芯上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈,线圈及引脚设置在衬底平面上。线圈由底层线圈和顶层线圈通过连接导体连接形成,底层线圈、顶层线圈及连接导体通过聚酰亚胺绝缘材料和磁芯隔开,线圈与线圈之间通过聚酰亚胺绝缘材料隔开。制造过程中采用了如下工艺处理:将硅片进行处理,得到双面套刻对准符号,采用物理刻蚀种子层技术,采用抛光技术以及二次电镀方法,得到连接导体。本发明解决了线圈的立体绕线和层间的绝缘问题及高深宽比的电镀问题,使得电感性能大大提高。

    微机电系统磁芯螺线管微电感器件的制备方法

    公开(公告)号:CN1260749C

    公开(公告)日:2006-06-21

    申请号:CN200410017853.2

    申请日:2004-04-22

    Abstract: 本发明提供一种微机电系统磁芯螺线管微电感器件的制备方法,利用微机电系统MEMS技术,对双面氧化的硅片进行处理,得到双面套刻对准符号,以便曝光时提高对准精度,采用物理刻蚀技术去种子层,采用一次电镀连接导体,制备出的微电感器件主要由衬底,引脚,线圈、磁芯组成,环形闭合的磁芯上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈,线圈由底层线圈和顶层线圈通过连接导体连接形成,底层线圈、顶层线圈及连接导体通过聚酰亚胺绝缘材料和磁芯隔开。本发明方法避免了湿法刻蚀工艺带来的钻蚀现象,解决了线圈的立体绕线和层间的绝缘问题及高深宽比的电镀问题,使得微电感器件的电感性能大大提高。

    一种短切碳纤维增强镁基复合材料的制备方法

    公开(公告)号:CN111155038A

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN202010090776.2

    申请日:2020-02-13

    Abstract: 本发明涉及一种短切碳纤维增强镁基复合材料的制备方法,对短切碳纤维进行预处理后,采用溶胶凝胶法在短切碳纤维上涂覆氧化物涂层,来改善镁与碳纤维之间的润湿性;之后取涂覆好的短切碳纤维与粘接剂及空心微珠混合均匀后置于模具中,挤压成型,得到毛坯;将毛坯置于管式炉中烧结后得到短切碳纤维预制块;将所述预制块与基体合金进行挤压铸造成型,得到复合材料铸锭;将铸锭进行热挤压,形成高强高模量碳纤维增强镁基复合材料棒材。与现有技术相比,本发明制备的短切碳纤维增强镁基复合材料,短切碳纤维体积分数达60%,棒材浸渗缺陷少,力学性能高,抗拉强度达430MPa,弹性模量达87GPa。

    变形镁基合金及其熔铸和变形加工工艺

    公开(公告)号:CN1587430A

    公开(公告)日:2005-03-02

    申请号:CN200410053657.0

    申请日:2004-08-12

    Abstract: 一种用于材料加工领域的变形镁基合金及其熔铸和变形加工工艺,合金成分及重量百分比为:5.0-6.0%Zn,1.5-2.5%Nd,1.0-2.0%Y,0.45-0.9%Zr,杂质元素Mn≤0.10%、Al≤0.05%、Si≤0.05%、Cu≤0.05%、Ni≤0.005%、Fe≤0.05%、Be≤0.01%,其余为Mg。熔铸工艺为:气体保护下,在熔炼炉中加入工业纯镁和覆盖剂,待镁全部化清后,升温至720℃~740℃加入合金元素Zn,继续升温至760℃~780℃加入稀土元素Nd、Y和合金元素Zr,待合金元素全部熔化后,将合金液温度调整至720℃~740℃,加入精炼剂精炼,升温至760℃~780℃,静置10~20分钟后,撇去表面浮渣,进行铸造。变形加工工艺为:铸锭在320℃~370℃保温2h,采用正挤压方式,挤压比选择在10~25之间,挤压模具和挤压筒的预热温度控制在300℃~350℃,挤压温度控制在320℃~370℃,挤压速度控制在0.1~1m/min。

    微型化磁芯螺线管微电感器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN1564276A

    公开(公告)日:2005-01-12

    申请号:CN200410017852.8

    申请日:2004-04-22

    Abstract: 本发明提供一种微型化磁芯螺线管微电感器件及其制备方法,微电感器件主要由衬底,引脚,线圈、磁芯组成,矩形或环形闭合的磁芯上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈,线圈及引脚设置在衬底平面上。线圈由底层线圈和顶层线圈通过连接导体连接形成,底层线圈、顶层线圈及连接导体通过聚酰亚胺绝缘材料和磁芯隔开,线圈与线圈之间通过聚酰亚胺绝缘材料隔开。制造过程中采用了如下工艺处理:将硅片进行处理,得到双面套刻对准符号,采用物理刻蚀种子层技术,采用抛光技术以及二次电镀方法,得到连接导体。本发明解决了线圈的立体绕线和层间的绝缘问题及高深宽比的电镀问题,使得电感性能大大提高。

    微机电系统磁芯螺线管微电感器件的制备方法

    公开(公告)号:CN1564280A

    公开(公告)日:2005-01-12

    申请号:CN200410017853.2

    申请日:2004-04-22

    Abstract: 本发明提供一种微机电系统磁芯螺线管微电感器件的制备方法,利用微机电系统MEMS技术,对双面氧化的硅片进行处理,得到双面套刻对准符号,以便曝光时提高对准精度,采用物理刻蚀技术去种子层,采用一次电镀连接导体,制备出的微电感器件主要由衬底,引脚,线圈、磁芯组成,矩形或环形闭合的磁芯上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈,线圈由底层线圈和顶层线圈通过连接导体连接形成,底层线圈、顶层线圈及连接导体通过聚酰亚胺绝缘材料和磁芯隔开。本发明方法避免了湿法刻蚀工艺带来的钻蚀现象,解决了线圈的立体绕线和层间的绝缘问题及高深宽比的电镀问题,使得微电感器件的电感性能大大提高。

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