公开(公告)号：CN113555656B

公开(公告)日：2022-03-15

申请号：CN202110949771.5

申请日：2021-08-18

申请人： 上海交通大学

发明人： 吴林晟 ,  李晨晨 ,  毛军发 ,  侯芳 ,  朱健

IPC分类号： H01P5/107

摘要： 一种具有曲线接地电极的接地共面波导与带状线的宽带过渡结构，包括：堆叠设置的两层硅片、依次设置的均匀接地共面波导单元、渐变接地共面波导单元和带状线单元以及位于渐变接地共面波导单元和带状线单元内部依次相连的微带线单元、第一带线、硅通孔单元和第二带线。本发明采用边缘随等效梯形导带宽度呈曲线变化的接地电极，保证渐变接地共面波导的特性阻抗始终为标准阻抗；优化带线宽度和长度，使带线、硅通孔等效电感与缝隙等效电容相互平衡，实现宽带阻抗匹配。本装置无须在地平面开孔，不增加工艺复杂度，可实现较大的工作带宽，满足硅基三维集成电路中三维互连网络对射频毫米波信号进行宽带低损耗传输的要求。

公开(公告)号：CN113555656A

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN202110949771.5

申请日：2021-08-18

申请人： 上海交通大学

发明人： 吴林晟 ,  李晨晨 ,  毛军发 ,  侯芳 ,  朱健

IPC分类号： H01P5/107

摘要： 一种具有曲线接地电极的接地共面波导与带状线的宽带过渡结构，包括：堆叠设置的两层硅片、依次设置的均匀接地共面波导单元、渐变接地共面波导单元和带状线单元以及位于渐变接地共面波导单元和带状线单元内部依次相连的微带线单元、第一带线、硅通孔单元和第二带线。本发明采用边缘随等效梯形导带宽度呈曲线变化的接地电极，保证渐变接地共面波导的特性阻抗始终为标准阻抗；优化带线宽度和长度，使带线、硅通孔等效电感与缝隙等效电容相互平衡，实现宽带阻抗匹配。本装置无须在地平面开孔，不增加工艺复杂度，可实现较大的工作带宽，满足硅基三维集成电路中三维互连网络对射频毫米波信号进行宽带低损耗传输的要求。

公开(公告)号：CN113594658B

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202110919738.8

申请日：2021-08-11

申请人： 上海交通大学

发明人： 夏彬 ,  吴林晟 ,  李晨晨 ,  毛军发 ,  侯芳 ,  朱健

IPC分类号： H01P5/107 ,  G01R1/04

摘要： 一种接地共面波导到悬置微带线的宽带过渡结构，包括：由上而下依次堆叠设置的第一至第三衬底、设置于第一衬底与第二衬底之间的第一地平面、设置于第三衬底上表面的第二地平面、均匀接地共面波导单元、梯形渐变接地共面波导单元、均匀微带线单元、梯形渐变微带线单元和悬置微带线单元。本发明通过由接地共面波导、微带线、悬置微带线、多段导带等腰梯形渐变结构以及等腰梯形开槽结构的组合，在不增加衬底层数和不附加机械转接结构的情况下，实现了具有较大工作带宽的接地共面波导到悬置微带线的过渡结构，满足三维集成电路中信号宽带、低损耗传输和电路探针测试的需求。

公开(公告)号：CN113594658A

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202110919738.8

申请日：2021-08-11

申请人： 上海交通大学

发明人： 夏彬 ,  吴林晟 ,  李晨晨 ,  毛军发 ,  侯芳 ,  朱健

IPC分类号： H01P5/107 ,  G01R1/04

摘要： 一种接地共面波导到悬置微带线的宽带过渡结构，包括：由上而下依次堆叠设置的第一至第三衬底、设置于第一衬底与第二衬底之间的第一地平面、设置于第三衬底上表面的第二地平面、均匀接地共面波导单元、梯形渐变接地共面波导单元、均匀微带线单元、梯形渐变微带线单元和悬置微带线单元。本发明通过由接地共面波导、微带线、悬置微带线、多段导带等腰梯形渐变结构以及等腰梯形开槽结构的组合，在不增加衬底层数和不附加机械转接结构的情况下，实现了具有较大工作带宽的接地共面波导到悬置微带线的过渡结构，满足三维集成电路中信号宽带、低损耗传输和电路探针测试的需求。