-
公开(公告)号：CN100333992C
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200510052804.7
申请日：2005-02-28
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C3/008
Abstract: 公开了一种具有高形状精度的微结构的制造方法及其制造系统。在具有预定定位精度和大行程的粗动工作台(51)上，设置有具有小行程和高于粗动工作台(51)定位精度的微动工作台(52)。首先，移动粗动工作台(51)至要求的位置。利用设置在激光长度测量机(64)上的镜子(55)和微动工作台(52)，高精度地测量在微动工作台(52)上的薄膜元件(25)的当前位置。激光长度测量机(64)的测量值反馈到工作台控制装置(61)。通过误差校正单元(64)计算当前位置和目标位置之间的误差。因此，产生误差校正值。并且利用误差校正值移动微动工作台(52)到目标位置。从而校正粗动工作台(51)的误差。
-
公开(公告)号：CN100337905C
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200510052815.5
申请日：2005-02-28
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B29C65/002 , B29C64/35 , B29C65/006 , B29C65/7817 , B29C66/0222 , B29C66/028 , B29C66/73161 , B29C66/7352 , B29C66/9672 , B29K2995/0072 , Y10T74/20354
Abstract: 一种微结构制造系统，包括具有预定定位精度和大行程长度的粗动工作台，设置在粗动工作台上并具有比粗动工作台更高定位精度和小行程长度的微动工作台等，它们结合在一起构成设置在真空容器内的工作台装置；用于测量到设置在微动工作台上的镜子的距离的激光长度测量机，用于利用激光长度测量机的测量结果驱动微动工作台的工作台控制装置等，它们结合在一起构成工作台控制单元；以及用于保持与由工作台装置保持的被压接元件相对设置的压接目标元件并且压接和分离这些元件的压杆(44)，用于向压杆(44)施加压接力的压接驱动机构等，它们结合在一起构成压接机构单元。
-
公开(公告)号：CN1680188A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN200510052815.5
申请日：2005-02-28
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B29C65/002 , B29C64/35 , B29C65/006 , B29C65/7817 , B29C66/0222 , B29C66/028 , B29C66/73161 , B29C66/7352 , B29C66/9672 , B29K2995/0072 , Y10T74/20354
Abstract: 一种微结构制造系统，包括具有预定定位精度和大行程长度的粗动工作台，设置在粗动工作台上并具有比粗动工作台更高定位精度和小行程长度的微动工作台等，它们结合在一起构成设置在真空容器内的工作台装置；用于测量到设置在微动工作台上的镜子的距离的激光长度测量机，用于利用激光长度测量机的测量结果驱动微动工作台的工作台控制装置等，它们结合在一起构成工作台控制单元；以及用于保持与由工作台装置保持的被压接元件相对设置的压接目标元件并且压接和分离这些元件的压杆(44)，用于向压杆(44)施加压接力的压接驱动机构等，它们结合在一起构成压接机构单元。
-
公开(公告)号：CN1680187A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN200510052804.7
申请日：2005-02-28
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C3/008
Abstract: 公开了一种具有高形状精度的微结构的制造方法及其制造系统。在具有预定定位精度和大行程的粗动工作台(51)上，设置有具有小行程和高于粗动工作台(51)定位精度的微动工作台(52)。首先，移动粗动工作台(51)至要求的位置。利用设置在激光长度测量机(64)上的镜子(55)和微动工作台(52)，高精度地测量在微动工作台(52)上的薄膜元件(25)的当前位置。激光长度测量机(64)的测量值反馈到工作台控制装置(61)。通过误差校正单元(64)计算当前位置和目标位置之间的误差。因此，产生误差校正值。并且利用误差校正值移动微动工作台(52)到目标位置。从而校正粗动工作台(51)的误差。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.02 seconds)
