公开(公告)号：CN1354503A

公开(公告)日：2002-06-19

申请号：CN01133014.7

申请日：2001-09-13

Applicant: 三菱电机株式会社 ,  菱电半导体系统工程株式会社

Inventor： 森长也 ,  山田真二 ,  船仓辉彦

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/28

CPC classification number: G01R31/3167 ,  G01R31/31905 ,  G01R31/31926

Abstract: 一种能以高精度、高速度对具有A/D转换电路和D/A转换电路的混合信号型半导体集成电路中的A/D转换电路和D/A转换电路进行测试的半导体集成电路的测试装置。将测试辅助装置设置在安装了被测试半导体集成电路的测试电路基板附近,在该测试辅助装置中,设有对被测试半导体集成电路的A/D转换电路供给模拟测试信号并对其D/A转换电路供给数字测试信号的数据电路、存储来自被测试半导体集成电路的测试输出的测定数据存储器、及对该测定数据存储器的存储数据进行分析的分析部。