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公开(公告)号:CN1391725A
公开(公告)日:2003-01-15
申请号:CN00811020.4
申请日:2000-11-29
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H03H3/10
CPC classification number: H04N5/367 , H04N5/232 , H04N5/357 , H04N5/3572 , H04N7/165 , H04N19/00 , H04N21/4143 , H04N21/482 , H04N21/84
Abstract: 一种在压电基板1上形成了包括由导体构成的交叉指状电极4、5的电极的弹性波装置,在上述交叉指状电极4、5及反射器9上淀积以氧化硅为主要成分的电介质薄膜,适当地设定该电介质薄膜的厚度。而且,通过适当地设定电介质薄膜的厚度,保护电极不受微细金属屑的影响,另外,能获得为了避免来自外部的影响而不需要气密地封装在外壳内的弹性波装置。
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公开(公告)号:CN1692179A
公开(公告)日:2005-11-02
申请号:CN200380100440.4
申请日:2003-10-09
Applicant: 石川岛播磨重工业株式会社 , 三菱电机株式会社
IPC: C23C26/00
CPC classification number: C23C26/00 , C23C26/02 , F01D5/288 , F01D11/122 , Y02T50/67 , Y02T50/671
Abstract: 在绝缘液体中或者气体中,在回转体的顶端部位和放电电极之间,利用放电电源进行脉冲放电,从而使放电电极熔融,并使电极的一部分沉积于回转体的顶端部位,并形成含有如cBN这样的硬质材料的研磨性涂膜。
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公开(公告)号:CN1692179B
公开(公告)日:2011-07-13
申请号:CN200380100440.4
申请日:2003-10-09
Applicant: 石川岛播磨重工业株式会社 , 三菱电机株式会社
IPC: C23C26/00
CPC classification number: C23C26/00 , C23C26/02 , F01D5/288 , F01D11/122 , Y02T50/67 , Y02T50/671
Abstract: 在绝缘液体中或者气体中,在回转体的顶端部位和放电电极之间,利用放电电源进行脉冲放电,从而使放电电极熔融,并使电极的一部分沉积于回转体的顶端部位,并形成含有如cBN这样的硬质材料的研磨性涂膜。
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