公开(公告)号：CN110235232A

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201880007190.6

申请日：2018-02-02

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 江草稔 ,  须藤进吾 ,  桥本和幸 ,  铃木得未

IPC: H01L21/607 ,  B23K20/10 ,  G01H17/00 ,  G01N29/14 ,  H01L21/60

Abstract: 超声波接合装置(50)具备：超声波接合机(20)，具有对装配到固定于夹具(24)的被固定物(1)的被接合部件(10)一边按压接合部件(4、5)一边施加超声波的超声波工具(21)；以及接合检查装置(30)，检查被接合部件(10)和接合部件(4、5)的接合质量。接合检查装置(30)具备：接合状态测定装置(31)，检测夹具(24)或者搭载有夹具(24)的超声波接合机(20)的框体(28)中的振动，输出检测信号(sig1)；以及接合状态判定装置(32)，在被接合部件(10)和接合部件(4、5)的接合工序中，根据由接合状态测定装置(31)输出的检测信号(sig1)，判定被接合部件(10)和接合部件(4、5)的接合状态。

公开(公告)号：CN110235232B

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN201880007190.6

申请日：2018-02-02

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 江草稔 ,  须藤进吾 ,  桥本和幸 ,  铃木得未

IPC: H01L21/607 ,  B23K20/10 ,  G01H17/00 ,  G01N29/14 ,  H01L21/60

Abstract: 超声波接合装置(50)具备：超声波接合机(20)，具有对装配到固定于夹具(24)的被固定物(1)的被接合部件(10)一边按压接合部件(4、5)一边施加超声波的超声波工具(21)；以及接合检查装置(30)，检查被接合部件(10)和接合部件(4、5)的接合质量。接合检查装置(30)具备：接合状态测定装置(31)，检测夹具(24)或者搭载有夹具(24)的超声波接合机(20)的框体(28)中的振动，输出检测信号(sig1)；以及接合状态判定装置(32)，在被接合部件(10)和接合部件(4、5)的接合工序中，根据由接合状态测定装置(31)输出的检测信号(sig1)，判定被接合部件(10)和接合部件(4、5)的接合状态。