公开(公告)号：CN116325104A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202180066270.0

申请日：2021-08-25

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中西学 ,  高山幸一 ,  上野和起

IPC: H01L21/66

Abstract: 试验载台(51)对配置有多个半导体元件(26、27)的晶圆(63)进行固定，并且具有与多个半导体元件(26、27)的正极电连接的正极的作用。恒流源(1、2)向试验载台(51)供给恒流。第1探针(53)将半导体元件(27)的负极与恒流源的负极(42)连接。电极(31、32)配置在试验载台(51)的外周，分别与恒流源(1、2)中的1个恒流源连接，并作为2个电流供给点发挥功能。集电极感测端子(33)配置在试验载台(51)的外周。电压计(3)测定集电极感测端子(33)与恒流源的负极(42)之间的电压。

公开(公告)号：CN115461630B

公开(公告)日：2025-05-09

申请号：CN202180030989.9

申请日：2021-02-25

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中西学 ,  水野高博

IPC: G01R31/26

Abstract: 试验体(100)具有第1半导体元件(1)、与第1半导体元件(1)的正极电连接的第1主电极(51)、与第1半导体元件(1)的负极电连接的第2主电极(52)、以及连接在第1主电极(51)与第2主电极(52)之间的第1电容器(22)。半导体试验装置(110)具备连接在第1探针(41)与第2探针(42)之间的直流电源(30)、以及控制部(31)。在第1探针(41)与第1主电极(51)连接且第2探针(42)与第2主电极(52)连接时，控制部(31)通过从直流电源(30)供给的直流电压，对第1电容器(22)进行充电，并且在对第1电容器(22)进行了充电之后，向第1半导体元件(1)的控制电极输入用于使第1半导体元件(1)导通的控制信号。

公开(公告)号：CN115461630A

公开(公告)日：2022-12-09

申请号：CN202180030989.9

申请日：2021-02-25

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中西学 ,  水野高博

IPC: G01R31/26

Abstract: 试验体(100)具有第1半导体元件(1)、与第1半导体元件(1)的正极电连接的第1主电极(51)、与第1半导体元件(1)的负极电连接的第2主电极(52)、以及连接在第1主电极(51)与第2主电极(52)之间的第1电容器(22)。半导体试验装置(110)具备连接在第1探针(41)与第2探针(42)之间的直流电源(30)、以及控制部(31)。在第1探针(41)与第1主电极(51)连接且第2探针(42)与第2主电极(52)连接时，控制部(31)通过从直流电源(30)供给的直流电压，对第1电容器(22)进行充电，并且在对第1电容器(22)进行了充电之后，向第1半导体元件(1)的控制电极输入用于使第1半导体元件(1)导通的控制信号。