阻气叠层膜及其制造方法

    公开(公告)号:CN103476581A

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201280016832.1

    申请日:2012-03-29

    Abstract: 本发明提供一种阻气叠层膜及其制造方法。所述阻气叠层膜在基体材料膜的至少一面形成多层无机薄膜层而得到,所述无机薄膜层中所述基体材料膜侧的第一层到第n层(n为1以上的整数)是通过非等离子体成膜法成膜而得到的,在其上相接成膜的第n+1层是通过对向靶溅射法成膜而得到的。所述阻气叠层膜的制造方法是在基体材料膜的至少一面形成一层或多层无机薄膜层的阻气叠层膜的制造方法,该方法包括:通过非等离子体成膜法成膜所述无机薄膜层中所述基体材料膜侧的第一层到第n层(n为1以上的整数),通过对向靶溅射法成膜在其上相接的第n+1层,该方法对于待成膜无机薄膜层的基体材料膜、特别是对于树脂膜的损伤少,可形成致密性高的无机薄膜层,且阻气性高、生产性优异。

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