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公开(公告)号:CN101098989A
公开(公告)日:2008-01-02
申请号:CN200580046553.X
申请日:2005-03-29
Applicant: 三菱化学株式会社
IPC: C23F1/18 , C09K13/06 , H01L21/308
CPC classification number: C23F1/34 , H01L21/32134
Abstract: 本发明提供铜的蚀刻液和蚀刻方法,其即使在其他金属共存的情况下,也能选择对铜或铜合金均匀地进行蚀刻。所述铜的蚀刻液至少含有草酸铵、过氧化氢和表面活性剂,并且表面张力为45mN/m以下,pH为6.0~8.5。草酸铵作为与铜形成铜络合物而使铜溶解的络合剂发挥作用,过氧化氢作为对铜表面进行氧化的氧化剂发挥作用,通过含有表面活性剂,使蚀刻液的表面张力为45mN/m以下。由此提高对基板的润湿性,提高蚀刻液对基板结构中高位部的浸渗性,在配线或电极用的具有优异导电性的金属共存的情况下,能均匀且选择性地蚀刻铜或铜合金。
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公开(公告)号:CN110914172A
公开(公告)日:2020-03-24
申请号:CN201880046025.1
申请日:2018-07-10
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 本发明涉及一种收纳二氧化硅粉体(PS)的二氧化硅粉体收纳组件(100)。所述二氧化硅粉体收纳组件(100)优选具备具有开口部(21a)的有底容器(21)和堵住所述开口部分(21a)的盖部(31)。此外,本发明涉及一种具备本发明的二氧化硅粉体收纳组件(100)的、用于向有底容器(21)内注入液态试样、使液态试样中的成分的至少一部分吸附在二氧化硅粉体(PS)的检测试剂盒。
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公开(公告)号:CN110023239A
公开(公告)日:2019-07-16
申请号:CN201780071186.1
申请日:2017-11-15
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 本申请的课题在于提供处理性及定量供给性能提高的二氧化硅粉体、以及在容器的多个单独收纳部内填充有高精度定量的二氧化硅粉体的生物物质的纯化试剂盒及其制造方法等。一种定量供给用二氧化硅粉体,其为二氧化硅粉体,其特征在于,在JIS标准筛表(JIS Z8801-1982)的标称筛孔250μm的筛子上筛1分钟时,99质量%以上会通过,在标称筛孔106μm的筛子上筛1分钟时,筛子上的质量变化在1质量%以下。
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公开(公告)号:CN108970659A
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201810547116.5
申请日:2018-05-31
IPC: B01L3/02 , B01D21/02 , B01D21/24 , C12Q1/6806
Abstract: 本发明提供无需有滤器等的复杂的结构的管嘴的固液分离方法、固液分离装置及在其中使用的移液器吸头、粒子及试剂盒。本发明从上述开口向在尖端形成开口的抽吸管嘴的内部抽吸含粒子的悬浮液,使抽吸的悬浮液中所含的粒子的至少一部分沉降到至达到尖端开口的开口近前侧而在上述抽吸管嘴内阻塞,经尖端开口而排出内部的液体的固液分离方法。
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