公开(公告)号：CN101243011A

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200680029888.5

申请日：2006-08-11

Applicant: 三菱化学株式会社

Inventor： 田原岳史 ,  关义则 ,  寺田秀 ,  竹内佐千江 ,  有田阳二 ,  久保田浩平

IPC: C01B21/06 ,  C30B9/12 ,  C30B29/38 ,  H01L33/00

CPC classification number: C30B29/403 ,  C30B9/12 ,  C30B29/406 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02573 ,  H01L21/02625 ,  H01L21/02628

Abstract: 本发明涉及一种第13族金属氮化物结晶的制造方法，其特征在于，具有如下工序：将含有周期表第13族金属元素和周期表第13族以外的金属元素的复合氮化物溶解在离子性溶剂中，制备溶液或熔融液，在该溶液或熔融液中进行第13族金属氮化物结晶的生长。按照该制造方法，能够在低压或常压下，以工业上廉价的方法制造品质优良的第13族金属氮化物结晶。

公开(公告)号：CN101243011B

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN200680029888.5

申请日：2006-08-11

Applicant: 三菱化学株式会社

Inventor： 田原岳史 ,  关义则 ,  寺田秀 ,  竹内佐千江 ,  有田阳二 ,  久保田浩平

IPC: C01B21/06 ,  C30B9/12 ,  C30B29/38 ,  H01L33/00

CPC classification number: C30B29/403 ,  C30B9/12 ,  C30B29/406 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02573 ,  H01L21/02625 ,  H01L21/02628

Abstract: 本发明涉及一种第13族金属氮化物结晶的制造方法，其特征在于，具有如下工序：将含有周期表第13族金属元素和周期表第13族以外的金属元素的复合氮化物溶解在离子性溶剂中，制备溶液或熔融液，在该溶液或熔融液中进行第13族金属氮化物结晶的生长。按照该制造方法，能够在低压或常压下，以工业上廉价的方法制造品质优良的第13族金属氮化物结晶。