回收显影废液中氢氧化四甲基铵并移除含氮化合物的方法及装置

    公开(公告)号:CN118271182A

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202211717428.9

    申请日:2022-12-30

    Abstract: 一种回收显影废液中氢氧化四甲基铵并移除含氮化合物的方法及装置,其方法包含一第一吸附步骤、一第一控制步骤、一第二控制步骤,及一第三控制步骤,于该第一吸附步骤中,以一第一离子树脂吸附一显影废液中的氢氧化四甲基铵及含氮化合物,于该第一控制步骤中,控制该显影废液于高酸碱值及高流速流入该第一离子树脂,用以脱附该第一离子树脂中的含氮化合物,于该第二控制步骤,当脱附该第一离子树脂中的含氮化合物后,停止该显影废液的流动,于该第三控制步骤中,对该第一离子树脂进行再生并取得一四甲基铵盐溶液。

    显影废液的二次废液中四甲基氢氧化铵的回收方法

    公开(公告)号:CN108623052A

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201710173572.3

    申请日:2017-03-22

    Abstract: 本发明公开了一种显影废液的二次废液中四甲基氢氧化铵的回收方法,包含一收集步骤、一第一调整步骤、一过滤步骤、一纯化步骤及一电解透析步骤。首先收集显影废液进行四甲基氢氧化铵回收后所产生的二次废液,并以酸液调整其酸碱值使得四甲基氢氧化铵离子与酸液形成四甲基铵盐水溶液,并让废光阻不溶于该二次废液中。接着该过滤步骤是过滤出废光阻而得到四甲基铵盐水溶液,再以一树脂塔纯化该四甲基铵盐水溶液中所含有的金属离子而得到四甲基铵盐水溶液。再进行该电解透析步骤使四甲基铵离子与相对离子分离而转化成四甲基氢氧化铵,而得到四甲基氢氧化铵水溶液。

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