回收显影废液中氢氧化四甲基铵并移除含氮化合物的方法及装置

    公开(公告)号:CN118271182A

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202211717428.9

    申请日:2022-12-30

    Abstract: 一种回收显影废液中氢氧化四甲基铵并移除含氮化合物的方法及装置,其方法包含一第一吸附步骤、一第一控制步骤、一第二控制步骤,及一第三控制步骤,于该第一吸附步骤中,以一第一离子树脂吸附一显影废液中的氢氧化四甲基铵及含氮化合物,于该第一控制步骤中,控制该显影废液于高酸碱值及高流速流入该第一离子树脂,用以脱附该第一离子树脂中的含氮化合物,于该第二控制步骤,当脱附该第一离子树脂中的含氮化合物后,停止该显影废液的流动,于该第三控制步骤中,对该第一离子树脂进行再生并取得一四甲基铵盐溶液。

Patent Agency Ranking