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公开(公告)号：CN115449797A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202110641678.8
申请日：2021-06-09
Applicant: 三福化工股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种蚀刻液的回收方法，该蚀刻液包含一螯合剂，该螯合剂是选自于二甲基乙醛二肪、乙酰酮、生长激素、胺基乙酸、乙二胺四乙酸、乙二胺、羟基乙叉二膦酸、二氮杂菲的其中之一或以上的混合物，该回收方法包含一收集步骤、一过滤步骤及一补充步骤。该收集步骤是收集铜离子含量超过一标准值的蚀刻液，该过滤步骤是将该收集步骤中所取得的蚀刻液通入一离子交换系统进行过滤，使该蚀刻液的铜离子含量下降至一许可值以下。该补充步骤是将过滤后的该蚀刻液补充添加剂后，可重复进行蚀刻作业。以此，该螯合剂能让蚀刻液中的铜离子以离子交换的方式被回收，使蚀刻液可重复使用而延长使用寿命，更利于环保，且降低废液的处理成本。
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公开(公告)号：CN115449793A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202110641560.5
申请日：2021-06-09
Applicant: 三福化工股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种金属层蚀刻液及其回收设备，其中该金属层蚀刻液包含0.01至20wt％的氧化剂、0.01至3wt％的腐蚀抑制剂、0.6至6wt％的溶剂、1至10wt％的酸碱值调整剂、1至20wt％的有机酸、0.01至30wt％的螯合剂及补至100wt％的水性介质。其中，该螯合剂是选自二甲基乙醛二肪、乙酰酮、生长激素、胺基乙酸、乙二胺四乙酸、乙二胺、羟基乙叉二膦酸、二氮杂菲的其中之一或以上的混合物。本发明的回收设备能以离子交换的方式回收金属层蚀刻液内含的铜离子，以使经回收后的金属层蚀刻液经添加适当补充后可重复进行蚀刻作业，延长蚀刻液的使用寿命，同时减少蚀刻废液内的铜离子含量及其处理成本，进而降低整体蚀刻制程的成本。
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