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公开(公告)号:CN101083266A
公开(公告)日:2007-12-05
申请号:CN200710126642.6
申请日:2007-05-29
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L27/0629 , H01L27/0738 , H01L29/4238
Abstract: 本发明的目的是提供可靠性高的电阻。此外,本发明的目的是实现在同一半导体基板上混载有MOS晶体管和电阻的半导体装置的小型化。在P型半导体基板(10)的表面上形成N型阱区域(11),在该阱区域11的表面上形成P-型电阻层(20)。并且,在阱区域(11)上环状地围绕电阻层(20)形成导电层(30)。在通常动作中,向导电层(30)施加规定的电压,没有在导电层(30)的下部形成沟道,从而将其他元件(例如P沟道型MOS晶体管1)与下拉电阻(2)分离。电阻层(20)与元件分离绝缘膜不接触。在由元件分离绝缘膜围绕的一个区域内形成PMOS(1)和下拉电阻(2)这两者。