公开(公告)号：CN116018668A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202180052826.0

申请日：2021-08-23

Applicant: 三星钻石工业股份有限公司

Inventor： 金平雄一 ,  三谷卓朗 ,  堤隆司 ,  小畑良介 ,  秀岛护

IPC: H01L21/301

Abstract: 提供基板的截断检测装置和基板的截断检测方法，将保持于保持膜的状态的基板截断为多个小片材后，能按照截断线检测并判定该基板是否在保持于保持膜的状态下被切实地截断为小片材。本发明是在将保持于保持膜(9)的状态的基板(1)截断为多个小片材(2)后检测基板的截断是否成功的装置(3)，具有：推顶部件(4)，其以与基板一主面对置的方式配备，且从一主面推顶截断为多个的小片材；照明单元(5)，其以与基板另一主面对置的方式配备，且对被推顶的小片材(2)照射照明光(IL)；摄像单元(6)，其配备于基板另一主面侧，且拍摄在被推顶的小片材反射的反射光(SL)；截断检测单元(7)，其利用由摄像单元拍摄的图像来检测基板的截断是否成功。

公开(公告)号：CN113021659A

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：CN202011355832.7

申请日：2020-11-26

Applicant: 三星钻石工业股份有限公司

Inventor： 小畑良介 ,  西口朋宏

IPC: B28D5/04 ,  B28D7/02 ,  B28D7/00 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明的目的在于提供一种槽加工头的集尘机构以及槽加工装置，将集尘罩的结构设为提高抽吸的空气的流速的结构，能够更有效地在划线加工时产生的粉尘附着于基板的表面之前去除粉尘。其具备：槽加工头(16)，具备工具架(18)，该工具架(18)在左右方向上排列保持多个将刀尖朝向下方的工具(17)；集尘罩(20)，设置在槽加工头(16)的下部，并与空气一起吸引使用工具(17)对基板(W)进行刻划时所产生的粉尘；管道(21)，供来自集尘罩(20)的空气通过；以及集尘机，吸引通过管道(21)的空气并收集粉尘，在槽加工头(16)的下表面设置有安装集尘罩(20)的底板(22)，层叠多个供流通空气的板而构成集尘罩(20)。