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发明公开
基板的截断检测装置和基板的截断检测方法审中-实审

公开(公告)号：CN116018668A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202180052826.0

申请日：2021-08-23

Applicant: 三星钻石工业股份有限公司

Inventor： 金平雄一 , 三谷卓朗 , 堤隆司 , 小畑良介 , 秀岛护

IPC: H01L21/301

Abstract: 提供基板的截断检测装置和基板的截断检测方法，将保持于保持膜的状态的基板截断为多个小片材后，能按照截断线检测并判定该基板是否在保持于保持膜的状态下被切实地截断为小片材。本发明是在将保持于保持膜(9)的状态的基板(1)截断为多个小片材(2)后检测基板的截断是否成功的装置(3)，具有：推顶部件(4)，其以与基板一主面对置的方式配备，且从一主面推顶截断为多个的小片材；照明单元(5)，其以与基板另一主面对置的方式配备，且对被推顶的小片材(2)照射照明光(IL)；摄像单元(6)，其配备于基板另一主面侧，且拍摄在被推顶的小片材反射的反射光(SL)；截断检测单元(7)，其利用由摄像单元拍摄的图像来检测基板的截断是否成功。

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