公开(公告)号：CN101826475A

公开(公告)日：2010-09-08

申请号：CN201010107033.8

申请日：2010-01-29

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 赵赞衡 ,  闵卿旭

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/00 ,  H01L51/56 ,  G01N21/88 ,  C23C14/04 ,  C23C16/04

CPC classification number: G03F1/84 ,  H01L51/0011

Abstract: 本发明涉及一种掩模检查装置和方法以及虚拟图产生装置和方法。掩模检查装置用于检查以期望图案进行沉积中所用到的具有多个开口的掩模，能够通过掩模的开口检查掩模的缺陷。掩模检查装置包括：检测单元，检测掩模的开口中的每一个的边界线；存储单元，存储待被利用掩模执行沉积的部件的信息；设置单元，利用所存储的待被执行沉积的部件的信息为开口中的每一个设置第一边界线、第二边界线和安全区域，其中第一边界线形成沉积区域的轮廓，第二边界线包围第一边界线，安全区域插入在第一边界线与第二边界线之间；以及控制单元，确定被检测单元检测的掩模的边界线是否不接触第一边界线和第二边界线以及边界线是否在安全区域中。

公开(公告)号：CN100505290C

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200510115805.1

申请日：2005-11-09

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 李政烈 ,  朴峻永 ,  金在中 ,  闵卿旭

IPC: H01L27/32 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12

CPC classification number: H01L27/3246

Abstract: 本发明提供了一种有机电致发光显示装置(OELD)，该装置通过在覆盖像素电极边缘的绝缘层的表面上形成凹口或槽来防止粒子产生盲点。该OELD包括：下电极，排列在基板上；绝缘层，排列在基板上，绝缘层具有用于暴露下电极的部分的孔；有机层，排列在下电极的暴露部分上；和上电极，排列在基板上，其中，绝缘层包括在其表面上的凹口和/或槽。

公开(公告)号：CN100479103C

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200610003376.3

申请日：2006-02-07

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 金在中 ,  朴峻永 ,  李政烈 ,  闵卿旭

IPC: H01L21/283 ,  H01L51/56 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L51/56 ,  H01L27/3246 ,  H01L51/5206

Abstract: 本发明公开了一种有机发光二极管(OLED)显示器及其制造方法，其中通过在形成像素分隔层之后并且在沉积有机层之前执行表面处理工艺，改进了用作像素电极的氧化铟锡(ITO)层的表面特性。形成平板显示器电极的方法包括：在基板上形成电极材料；图形化该电极材料，以形成电极图案；在该基板上形成具有沉积厚度的绝缘层；蚀刻该绝缘层，以露出该电极图案的一部分；在该绝缘层被从沉积厚度蚀刻预定厚度的条件下，执行表面处理工艺。