公开(公告)号：CN1262529A

公开(公告)日：2000-08-09

申请号：CN99126366.9

申请日：1999-12-17

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金日

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22 ,  H01L41/24 ,  B06B1/06

CPC classification number: H01L41/047 ,  H01L41/0475 ,  H01L41/0477

Abstract: 本发明是关于微驱动器及其制造方法。它由底板、电源引入线、压电体及电极组成,在底板上表面与电源引入线相连接的一侧形成凹槽,经过浸蚀,形成有平滑倾斜度侧面的压电体;上部电极形成于压电体的顶部,并延长到有平滑倾斜度的侧面,且与电源引入线相连接。这种结构提高了上部电极与电源引入线的连接性,因为通过浸蚀而形成的压电体侧面,具有从顶部到底板的平滑曲线形态,能够把上部电极从压电体的顶部经侧面延长到底板。这种方法大大提高了压电体与电源引入线连接的自由度。

公开(公告)号：CN1262174A

公开(公告)日：2000-08-09

申请号：CN99126367.7

申请日：1999-12-17

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金日 ,  刘永锡

IPC: B41J2/14

CPC classification number: B41J2/1629 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1642 ,  B41J2002/14387

Abstract: 喷墨打印头用驱动器,将振动板和室内板用第一抗蚀膜来接合,在与室内板的第一抗蚀膜的接合面对应面形成与之一体的第二抗蚀膜,而提高了与形成流路的部件的接合力,提高了室内板的强度。其包括振动板;积层在振动板一表面的第一抗蚀膜;积层在第一抗蚀膜的振动板的积层面的对应面、其内含多个中间部比上下部往侧弯曲的液室的室内板;积层于室内板的第一抗蚀膜的积层面的对应面第二抗蚀膜。增加了室内板与其它板间的接合面,增强了接合力,提高了室内的强度。

公开(公告)号：CN1242300A

公开(公告)日：2000-01-26

申请号：CN98111753.8

申请日：1998-12-24

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金日

IPC: B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1606 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1646 ,  B41J2202/03

Abstract: 本发明提供一种喷墨打印机的致动器的制造方法,其中振动板由金属薄板构成,并层叠一层抗氧化层,以便在高温下热处理时保持其物理性质的稳定性,从而提高打印头的可靠性。

公开(公告)号：CN1226478A

公开(公告)日：1999-08-25

申请号：CN98125864.6

申请日：1998-12-22

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金日

IPC: B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1631 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1645 ,  B41J2002/14387 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/313 ,  H01L41/314 ,  H01L41/332 ,  Y10S29/016 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

Abstract: 一种制造用于喷墨头的微致动器的方法,利用主要用于制造半导体器件的构图工艺,容易形成具有要求图形的氧化物压电元件和上电极。该方法包括以下步骤:依次层叠振动板、下电极、氧化物压电片、和电极层;构图电极层,从而形成要求图形的上电极;并利用上电极作掩模,用腐蚀工艺构图氧化物压电片,从而形成要求图形的氧化物压电元件。