公开(公告)号：CN101596508B

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN200910143087.7

申请日：2009-05-31

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 崔熙圣 ,  金光秀 ,  崔厚美 ,  金泰成 ,  金美良 ,  申铉浩

IPC: B05B7/14 ,  B05B7/16 ,  B05B7/26 ,  B05B15/04 ,  B05B1/12 ,  B05B7/00 ,  C23C24/04 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明披露了一种常压气溶胶喷雾装置及利用其形成膜的方法。根据本发明一种实施方式的该气溶胶喷雾装置包括：载气喷射单元，其通过使液化气体蒸发而形成载气并使载气的压力增加；气溶胶形成单元，其通过将载气与粉末混合而形成气溶胶；以及膜形成单元，其在常压环境中喷出气溶胶使得在板的表面形成膜。该装置能够不受粉末类型和大小限制而实施涂覆过程，由于能够在常温和常压环境中形成膜而使工艺简化，并且能够在短时间内控制宽范围的膜厚度。

公开(公告)号：CN101596508A

公开(公告)日：2009-12-09

申请号：CN200910143087.7

申请日：2009-05-31

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 崔熙圣 ,  金光秀 ,  崔厚美 ,  金泰成 ,  金美良 ,  申铉浩

IPC: B05B7/14 ,  B05B7/16 ,  B05B7/26 ,  B05B15/04 ,  B05B1/12 ,  B05B7/00 ,  C23C24/04 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明披露了一种常压气溶胶喷雾装置及利用其形成膜的方法。根据本发明一种实施方式的该气溶胶喷雾装置包括：载气喷射单元，其通过使液化气体蒸发而形成载气并使载气的压力增加；气溶胶形成单元，其通过将载气与粉末混合而形成气溶胶；以及膜形成单元，其在常压环境中喷出气溶胶使得在板的表面形成膜。该装置能够不受粉末类型和大小限制而实施涂覆过程，由于能够在常温和常压环境中形成膜而使工艺简化，并且能够在短时间内控制宽范围的膜厚度。