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公开(公告)号:CN100575401C
公开(公告)日:2009-12-30
申请号:CN200310120611.1
申请日:2003-12-15
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H01L21/4864 , C11D7/06 , C11D7/3209 , C11D11/0029 , H05K1/0346 , H05K3/385 , H05K2203/0315
Abstract: 本发明公开了一种用于清洁铜表面及改进聚酰亚胺表面粘合性的棕色氧化物预处理组合物,及通过将组合物施加到棕色氧化物工艺中从而改进聚酰亚胺表面粘合性方法。用于清洁铜表面及改进聚酰亚胺表面粘合性的棕色氧化物预处理组合物,包括5~15g/L的胺;190~210g/L的氢氧化物化合物;至少一种添加剂选自3~6g/L清洁剂助剂、0.1~5g/L的防沫剂和1~10g/L的沉淀抑制剂;和余量水。当将用于清洁铜表面及改进聚酰亚胺表面粘合性的棕色氧化物预处理组合物施加到棕色氧化物工艺预处理步骤中时,其可清洁铜表面并改进聚酰亚胺表面的粘合性。
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公开(公告)号:CN1590438A
公开(公告)日:2005-03-09
申请号:CN200310120611.1
申请日:2003-12-15
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H01L21/4864 , C11D7/06 , C11D7/3209 , C11D11/0029 , H05K1/0346 , H05K3/385 , H05K2203/0315
Abstract: 本发明公开了一种用于清洁铜表面及改进聚酰亚胺表面粘合性的棕色氧化物预处理组合物,及通过将组合物施加到棕色氧化物工艺中从而改进聚酰亚胺表面粘合性方法。用于清洁铜表面及改进聚酰亚胺表面粘合性的棕色氧化物预处理组合物,包括5~15g/L的胺;190~210g/L的氢氧化物化合物;至少一种添加剂选自3~6g/L清洁剂助剂、0.1~5g/L的防沫剂和1~10g/L的沉淀抑制剂;和余量水。当将用于清洁铜表面及改进聚酰亚胺表面粘合性的棕色氧化物预处理组合物施加到棕色氧化物工艺预处理步骤中时,其可清洁铜表面并改进聚酰亚胺表面的粘合性。
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