公开(公告)号：CN111482892B

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN201910781512.9

申请日：2019-08-23

Applicant: 三星电子株式会社 ,  FNS科技有限公司

Inventor： 安峰秀 ,  金八坤 ,  刘永俊 ,  金时亨 ,  金胤镐 ,  文真钰 ,  吴承泽

IPC: B24B37/26 ,  B24B37/22 ,  B24B37/24 ,  B24B37/20 ,  B24B37/013

Abstract: 提供了一种循环使用的抛光垫，所述循环使用的抛光垫包括上层垫和辅助垫。上层垫包括第一表面和与第一表面背对的第二表面。第一表面具有多个第一凹槽，第二表面具有多个第二凹槽。上层垫还包括连接第一凹槽和第二凹槽的连接体。辅助垫与上层垫的第二表面接触。每个第一凹槽的深度小于每个第二凹槽的深度。

公开(公告)号：CN111482892A

公开(公告)日：2020-08-04

申请号：CN201910781512.9

申请日：2019-08-23

Applicant: 三星电子株式会社 ,  FNS科技有限公司

Inventor： 安峰秀 ,  金八坤 ,  刘永俊 ,  金时亨 ,  金胤镐 ,  文真钰 ,  吴承泽

IPC: B24B37/26 ,  B24B37/22 ,  B24B37/24 ,  B24B37/20 ,  B24B37/013

Abstract: 提供了一种循环使用的抛光垫，所述循环使用的抛光垫包括上层垫和辅助垫。上层垫包括第一表面和与第一表面背对的第二表面。第一表面具有多个第一凹槽，第二表面具有多个第二凹槽。上层垫还包括连接第一凹槽和第二凹槽的连接体。辅助垫与上层垫的第二表面接触。每个第一凹槽的深度小于每个第二凹槽的深度。