公开(公告)号：CN111748093B

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202010005831.3

申请日：2020-01-03

Applicant: 三星电子株式会社 ,  株式会社东进世美肯

Inventor： 姜美荣 ,  洪锡九 ,  金橞伦 ,  金知贤 ,  金炫辰 ,  卢孝贞 ,  朴钟庆 ,  李正烈

IPC: C08G73/06 ,  G03F7/11 ,  C09D179/04 ,  C09D5/00

Abstract: 提供了一种聚合物、一种包括其的组合物以及制造集成电路器件的方法。所述聚合物具有由式1表示的重复单元：[式1]其中，R1、R2和R3均独立地选自于具有0至2个第一杂原子的取代或未取代的C1‑C6链状饱和或不饱和烃基或者具有0至2个第一杂原子的取代或未取代的C3‑C6环状饱和或不饱和烃基，其中，R1、R2和R3中的至少一个是取代有氟原子的烃基。R4是具有0至2个第二杂原子的C1‑C10链状饱和或不饱和烃基或者具有0至2个第二杂原子的C3‑C10环状饱和或不饱和烃基。R5是具有1至6个第三杂原子的C1‑C10

公开(公告)号：CN111748093A

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN202010005831.3

申请日：2020-01-03

Applicant: 三星电子株式会社 ,  株式会社东进世美肯

Inventor： 姜美荣 ,  洪锡九 ,  金橞伦 ,  金知贤 ,  金炫辰 ,  卢孝贞 ,  朴钟庆 ,  李正烈

IPC: C08G73/06 ,  G03F7/11 ,  C09D179/04 ,  C09D5/00

Abstract: 提供了一种聚合物、一种包括其的组合物以及制造集成电路器件的方法。所述聚合物具有由式1表示的重复单元：[式1] 其中，R1、R2和R3均独立地选自于具有0至2个第一杂原子的取代或未取代的C1-C6链状饱和或不饱和烃基或者具有0至2个第一杂原子的取代或未取代的C3-C6环状饱和或不饱和烃基，其中，R1、R2和R3中的至少一个是取代有氟原子的烃基。R4是具有0至2个第二杂原子的C1-C10链状饱和或不饱和烃基或者具有0至2个第二杂原子的C3-C10环状饱和或不饱和烃基。R5是具有1至6个第三杂原子的C1-C10链状饱和或不饱和烃基或者具有1至6个第三杂原子的C3-C10环状饱和或不饱和烃基。