公开(公告)号：CN1181520A

公开(公告)日：1998-05-13

申请号：CN97122568.0

申请日：1997-10-11

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 姜律 ,  崔相俊 ,  郑东垣 ,  朴春根 ,  高永范

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/039

Abstract: 在化学增强抗蚀剂中使用了共聚物和三元共聚物。该三元共聚物具有右通式(Ⅱ),其中R3、R4、R5、R6、m和n的定义如说明书中所述;同时还有一用于化学增强的抗蚀剂的抗蚀组合物,它含有一光敏酸发生剂和一具有上通式(Ⅲ)的聚合物,其中x、R7、R8、m和n的定义如说明书中所述。

公开(公告)号：CN1141619C

公开(公告)日：2004-03-10

申请号：CN97122568.0

申请日：1997-10-11

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 姜律 ,  崔相俊 ,  郑东垣 ,  朴春根 ,  高永范

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/039

Abstract: 在化学增强抗蚀剂中使用了共聚物和三元共聚物。该三元共聚物具有下述通式(II)，其中R3、R4、R5、R6、m和n的定义如说明书中所述；同时还有一用于化学增强的抗蚀剂的抗蚀组合物，它含有一光敏酸发生剂和一具有下述通式(III)的聚合物，其中x、R7、R8、m和n的定义如说明书中所述。