公开(公告)号：CN102544026A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110259413.8

申请日：2011-09-05

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔永株 ,  李禹根 ,  尹甲洙 ,  金己园 ,  陈尚完 ,  宋栽沅 ,  朱迅

IPC: H01L27/12 ,  H01L29/786 ,  G02F1/1362 ,  G02F1/1368

CPC classification number: H01L27/1225 ,  G02F1/1368 ,  H01L29/41733 ,  H01L29/4908

Abstract: 本发明提供一种薄膜晶体管阵列面板。该薄膜晶体管阵列面板包括：绝缘基板；栅线，设置在绝缘基板上并具有栅电极；第一栅绝缘层，设置在栅线上且由硅氮化物制成；第二栅绝缘层，设置在第一栅绝缘层上且由硅氧化物制成；氧化物半导体，设置在第二栅绝缘层上；数据线，设置在氧化物半导体上且具有源电极；漏电极，设置在氧化物半导体上且面对源电极；以及像素电极，连接到漏电极。第二栅绝缘层的厚度可以在从200至500的范围。