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公开(公告)号：CN1488995A
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN03146640.0
申请日：2003-07-10
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/00 , G03F7/038 , G03F7/26 , G03F7/40 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/40 , Y10S430/143
Abstract: 在微电子衬底上形成抗蚀剂图形，抗蚀剂图形包括抗蚀剂材料。包括水溶性树脂的涂层形成在抗蚀剂图形上，其中水溶性树脂和抗蚀剂材料彼此容易混合，并将它们混合以便在抗蚀剂图形和非混合的涂层之间提供含有抗蚀剂材料和水溶性树脂的混合层。可以硬化混合层，并且可以从硬化的混合层上去掉非混合的涂层。
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