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公开(公告)号:CN109786378A
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201811337662.2
申请日:2018-11-12
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/088
Abstract: 本公开提供了集成电路器件。一种集成电路器件包括:基板,具有在第一方向上延伸的鳍型有源区域;栅极结构,在基板上与鳍型有源区域交叉并在垂直于第一方向且平行于基板的上表面的第二方向上延伸;引导图案,在第二方向上在栅极结构上延伸,并具有在第二方向上延伸的倾斜侧表面;源极/漏极区域,设置在栅极结构的两侧;以及第一接触,电连接到源极/漏极区域之一,并且第一接触的上部接触引导图案的倾斜侧表面。引导图案的上部在第一方向上的宽度小于引导图案的下部在第一方向上的宽度。
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公开(公告)号:CN109786437B
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN201811247777.2
申请日:2018-10-24
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种半导体器件,包括:第一有源区,在衬底上沿第一方向延伸;第二有源区,在衬底沿第一方向延伸,并且与第一有源区平行;元件隔离区,在第一有源区和第二有源区之间;栅极结构,沿与第一方向不同的第二方向延伸,并且与第一有源区和第二有源区交叉;下接触件,沿第一方向与栅极结构间隔开,下接触件在第一有源区、元件隔离区和第二有源区上;以及上接触件,在第一有源区和第二有源区之间位于下接触件上。下接触件在第一有源区上的沿第一方向的宽度窄于下接触件在元件隔离区上的沿第一方向的宽度。
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公开(公告)号:CN109786378B
公开(公告)日:2023-12-05
申请号:CN201811337662.2
申请日:2018-11-12
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/088
Abstract: 本公开提供了集成电路器件。一种集成电路器件包括:基板,具有在第一方向上延伸的鳍型有源区域;栅极结构,在基板上与鳍型有源区域交叉并在垂直于第一方向且平行于基板的上表面的第二方向上延伸;引导图案,在第二方向上在栅极结构上延伸,并具有在第二方向上延伸的倾斜侧表面;源极/漏极区域,设置在栅极结构的两侧;以及第一接触,电连接到源极/漏极区域之一,并且第一接触的上部接触引导图案的倾斜侧表面。引导图案的上部在第一方向上的宽度小于引导图案的下部在第一方向上的宽度。
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公开(公告)号:CN109786437A
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201811247777.2
申请日:2018-10-24
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种半导体器件,包括:第一有源区,在衬底上沿第一方向延伸;第二有源区,在衬底沿第一方向延伸,并且与第一有源区平行;元件隔离区,在第一有源区和第二有源区之间;栅极结构,沿与第一方向不同的第二方向延伸,并且与第一有源区和第二有源区交叉;下接触件,沿第一方向与栅极结构间隔开,下接触件在第一有源区、元件隔离区和第二有源区上;以及上接触件,在第一有源区和第二有源区之间位于下接触件上。下接触件在第一有源区上的沿第一方向的宽度窄于下接触件在元件隔离区上的沿第一方向的宽度。
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公开(公告)号:CN108807387A
公开(公告)日:2018-11-13
申请号:CN201810347421.X
申请日:2018-04-18
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/11 , H01L29/423
Abstract: 公开了一种半导体器件,其包括:第一有源图案和第二有源图案,第一有源图案和第二有源图案在衬底上在第一方向上延伸并且在交叉第一方向的第二方向上彼此间隔开;第一栅极结构,其跨越第一有源图案和第二有源图案延伸;第二栅极结构,其与第一栅极结构间隔开;以及节点接触,其在第一栅极结构与第二栅极结构之间,将第一有源图案和第二有源图案彼此电连接。节点接触包括与第一有源图案相邻的第一端和与第二有源图案相邻的第二端。节点接触的第二端在第一方向上相对于节点接触的第一端偏移,从而距离第二栅极结构比距离第一栅极结构更近。
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