公开(公告)号：CN1089360A

公开(公告)日：1994-07-13

申请号：CN93112845.5

申请日：1993-12-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金元浩 ,  崔东旭

IPC: G02B5/23 ,  G02F1/1333

CPC classification number: G02F1/133516 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0035 ,  G03F9/00

Abstract: 公开了一种具有对准图形、以便容易对准掩模的滤色片及其制作方法。另外还揭示了用对准主图形对准掩模的方法。在基片上形成一种具有预定阶梯差、以便产生激光束衍射光的对准主图形，然后形成盖在上述对准主图形的滤色层。之后，通过将一束激光束照射在上述对准主图形上，测得衍射光，以便产生一个信号，同时使暴露出上述滤色层的掩模被对准。由于可测得精确的波形图，所以能很容易地实行掩模的自对准。

公开(公告)号：CN1038709C

公开(公告)日：1998-06-10

申请号：CN93112845.5

申请日：1993-12-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金元浩 ,  崔东旭

IPC: G02B5/20 ,  G03F9/00

CPC classification number: G02F1/133516 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0035 ,  G03F9/00

Abstract: 公开了一种具有对准图形、以便容易对准掩模的滤色片及其制作方法。另外还揭示了用对准主图形对准掩模的方法。在基片上形成一种具有预定阶梯差、以便产生激光束衍射光的对准主图形，然后形成盖在上述对准主图形的滤色层。之后，通过将一束激光束照射在上述对准主图形上，测得衍射光，以便产生一个信号，同时使暴露出上述滤色层的掩模被对准。由于可测得精确的波形图，所以能很容易地实行掩模的自对准。