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公开(公告)号:CN109659430A
公开(公告)日:2019-04-19
申请号:CN201811092261.5
申请日:2018-09-19
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L45/00
CPC classification number: H01L27/2427 , H01L23/525 , H01L27/2463 , H01L27/2481 , H01L45/06 , H01L45/1233 , H01L45/144 , H01L45/04 , H01L45/14 , H01L45/16
Abstract: 提供了一种包括数据存储图案的半导体装置,所述半导体装置包括:基体绝缘层,位于基底上;第一导电线,在基体绝缘层上沿第一方向延伸;数据存储结构,位于第一导电线上;选择器结构,位于数据存储结构上,每个选择器结构包括下选择器电极、选择器和上选择器电极;绝缘层,位于选择器结构之间的空间中;以及第二导电线,设置在选择器结构和绝缘层上,并且在与第一方向相交的第二方向上延伸。绝缘层的上表面高于上选择器电极的上表面。
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公开(公告)号:CN109659430B
公开(公告)日:2023-09-05
申请号:CN201811092261.5
申请日:2018-09-19
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了一种包括数据存储图案的半导体装置,所述半导体装置包括:基体绝缘层,位于基底上;第一导电线,在基体绝缘层上沿第一方向延伸;数据存储结构,位于第一导电线上;选择器结构,位于数据存储结构上,每个选择器结构包括下选择器电极、选择器和上选择器电极;绝缘层,位于选择器结构之间的空间中;以及第二导电线,设置在选择器结构和绝缘层上,并且在与第一方向相交的第二方向上延伸。绝缘层的上表面高于上选择器电极的上表面。
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