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公开(公告)号：CN117936350A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311212162.7
申请日：2023-09-19
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 萨拉·库玛 , 朴海利 , 拉德瓦努尔·哈桑·斯迪克
Abstract: 提供了等离子体装置、光学诊断系统和执行单分子检测的方法。所述等离子体装置包括沿着第一方向和第二方向延伸的支撑层、在所述支撑层上的绝缘层、以及在所述绝缘层上并且限定沿着所述第一方向延伸的腔的等离子体层，所述腔具有三维(3D)锥形结构并且被配置为使电磁场沿着所述第一方向传播并将所述电磁场聚集在所述腔的尖端处，其中，所述支撑层、所述绝缘层和所述等离子体层在其中限定开口，所述开口位于所述腔的所述尖端处并且被配置为使存在于所述等离子体层上的溶液的靶分子穿过。
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