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公开(公告)号：CN1995988A
公开(公告)日：2007-07-11
申请号：CN200710001533.1
申请日：2007-01-04
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N2021/9513 , G02B21/0016 , G02B21/02
Abstract: 本发明的检查设备以及检查方法提供了提高的清晰度。所述检查设备包括：平台，用于支撑将被检查的物件；光学显微镜，设置有接近所述平台和从所述平台退回的物镜，以检查物件；观察口透镜，介于所述物件和所述物镜之间，并且具有预定的曲率半径。
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