公开(公告)号：CN1845281A

公开(公告)日：2006-10-11

申请号：CN200610051309.9

申请日：2006-01-05

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔蓥 ,  焦继伟 ,  王跃林 ,  邢向龙

IPC: H01H59/00 ,  H01P1/10

CPC classification number: H01H59/0009 ,  H01H2001/0042 ,  H01P1/127

Abstract: 一种三态射频微机电系统开关，包括：第一井，其形成在第一基板上；形成第一间隙的第一输入信号线和第一输出信号线；与第一井中的信号线隔绝的射频接地；形成在第一井中的第一驱动电极；具有第二井和第三井的第二基板；在第二基板中的第二井和第三井之间形成分界的分界栏；第二输入信号线和第二输出信号线、第三输入信号线和第三输出信号线，分别形成第二间隙和第三间隙；与在第二井和第三井中的信号线隔绝射频接地；第二驱动电极和第三驱动电极；隔膜，其设置在第一基板和第二基板之间，以在第一、第二及第三间隙之上穿过，并具有分别与其上的第一间隙、第二间隙和第三间隙相对的第一金属焊盘、第二金焊盘和第三金属焊盘。