公开(公告)号：CN1536612A

公开(公告)日：2004-10-13

申请号：CN200410001360.X

申请日：2004-01-07

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 韩奎熙 ,  刘尚昱 ,  李锡燀

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/205 ,  C23C16/00

CPC classification number: C23C16/4558

Abstract: 一种用于将沉积气体供应到基板表面上的供气装置，所述供气装置包括：供气环，带有一个或多个沿所述供气环的内部形成的供气通道，还带有多个指向所述供气环中央的气体分布通道；以及多个适配器，带有分别连接到气体分布通道的喷气嘴，所述适配器可拆卸地连接到供气环内部，其中所述喷气嘴具有多种喷射构造。

公开(公告)号：CN1263092C

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN200410001360.X

申请日：2004-01-07

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 韩奎熙 ,  刘尚昱 ,  李锡燀

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/205 ,  C23C16/00

CPC classification number: C23C16/4558

Abstract: 一种用于将沉积气体供应到基板表面上的供气装置，所述供气装置包括：供气环，带有一个或多个沿所述供气环的内部形成的供气通道，还带有多个指向所述供气环中央的气体分布通道；以及多个适配器，带有分别连接到气体分布通道的喷气嘴，所述适配器可拆卸地连接到供气环内部，其中所述喷气嘴具有多种喷射构造。